恭喜株式会社迪思科藤泽晋一获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社迪思科申请的专利片扩展装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112687608B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011094706.0,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权片扩展装置是由藤泽晋一设计研发完成,并于2020-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本片扩展装置在说明书摘要公布了:提供片扩展装置,抑制片被局部拉伸。该装置具有:在第一方向上隔着工件相互对置而分别夹持片的第一、第二夹持单元;在垂直于第一方向的第二方向上隔着工件相互对置而分别夹持片的第三、第四夹持单元;和使第一、第二夹持单元向相互分离的朝向移动并使第三、第四夹持单元向相互分离的朝向移动的移动单元,各夹持单元分别具有在工件所在侧即内侧上下对置配置的内侧夹持部和与内侧夹持部相邻且在外侧上下对置配置的外侧夹持部,在下侧的内侧、外侧夹持部的上部和上侧的内侧、外侧夹持部的下部配设有以旋转轴为中心而旋转的多个辊,至少在第一、第二夹持单元中,在上侧和下侧分别配置成在内侧夹持部的相邻的辊的旋转轴间定位外侧夹持部的辊的旋转轴。
本发明授权片扩展装置在权利要求书中公布了:1.一种片扩展装置,其对粘贴有工件的片进行扩展,其中,该片扩展装置具有:第一夹持单元和第二夹持单元,它们在第一方向上隔着工件而相互对置地配设,分别对片进行夹持;第三夹持单元和第四夹持单元,它们在与该第一方向垂直的第二方向上隔着工件而相互对置地配设,分别对片进行夹持;以及移动单元,其能够使该第一夹持单元和该第二夹持单元在该第一方向上向相互分离的朝向移动,并且能够使该第三夹持单元和该第四夹持单元在该第二方向上向相互分离的朝向移动,该第一夹持单元、该第二夹持单元、该第三夹持单元以及该第四夹持单元分别具有:内侧夹持部,其在该工件的所在侧即内侧上下对置而配置;以及外侧夹持部,其与该内侧夹持部相邻而在该内侧夹持部的外侧上下对置而配置,在下侧的该内侧夹持部的上部和下侧的该外侧夹持部的上部配设有以与该分离的朝向平行的旋转轴为中心而旋转的多个辊,在上侧的该内侧夹持部的下部和上侧的该外侧夹持部的下部配设有以与该分离的朝向平行的旋转轴为中心而旋转的多个辊,至少在该第一夹持单元和该第二夹持单元中,在上侧和下侧分别配置成在该内侧夹持部的相邻的辊的旋转轴之间定位该外侧夹持部的辊的旋转轴。
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