恭喜东京毅力科创株式会社大塚庆崇获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利接合系统和重合基板的检查方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114556537B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080070229.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权接合系统和重合基板的检查方法是由大塚庆崇;鹤田茂登;三村勇之;前田浩史;真锅英二;日诘久则;篠塚真一;田上裕宪设计研发完成，并于2020-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本接合系统和重合基板的检查方法在说明书摘要公布了：本公开的接合系统1具备接合装置41、检查装置80以及控制部70。接合装置通过将第一基板W1与第二基板W2接合来形成重合基板T。检查装置进行重合基板的检查。控制部控制检查装置。另外，控制部具备测定控制部71a、比较部71c以及再测定控制部71e。测定控制部使检查装置以第一测定点数量进行重合基板的测定。比较部将包括根据测定的结果导出的重合基板中的第一基板与第二基板之间的偏移量的检查结果72a与参考72b进行比较。再测定控制部基于比较部的比较结果，使检查装置以比第一测定点数量多的第二测定点数量进行重合基板的再测定。
本发明授权接合系统和重合基板的检查方法在权利要求书中公布了：1.一种接合系统，具备：接合装置，其通过将第一基板与第二基板接合来形成重合基板；检查装置，其进行所述重合基板的检查；以及控制部，其控制所述检查装置，其中，所述控制部具备：测定控制部，其使所述检查装置以第一测定点数量进行所述重合基板的测定；比较部，其将包括根据所述测定的结果导出的所述重合基板中的所述第一基板与所述第二基板之间的偏移量的检查结果与参考进行比较；以及再测定控制部，其基于所述比较部的比较结果，使所述检查装置以比所述第一测定点数量多的第二测定点数量进行所述重合基板的再测定。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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