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龙图腾网恭喜日本株式会社日立高新技术科学申请的专利会聚离子束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112563100B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011022919.2，技术领域涉及：H01J37/08；该发明授权会聚离子束装置是由石井晴幸;上本敦;麻畑达也设计研发完成，并于2020-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本会聚离子束装置在说明书摘要公布了：提供如下的会聚离子束装置：能够针对会聚离子束的多个照射位置，分别自动且高精度地与共心高度对齐。会聚离子束装置具有电子束镜筒、会聚离子束镜筒、以及能够以倾斜轴为中心倾斜且能够沿高度方向移动的试样载台，其中，会聚离子束装置还具有：坐标取得单元，在试样上指定了照射会聚离子束的多个照射位置时，其取得各照射位置的平面坐标；移动量计算单元，其根据平面坐标，针对各照射位置计算使所述试样载台移动到共心高度以使所述共心高度与如下的交叉位置一致的移动量，所述交叉位置是电子束和会聚离子束一致的位置；以及试样载台移动控制单元，其针对各照射位置，根据移动量使试样载台移动到共心高度。

本发明授权会聚离子束装置在权利要求书中公布了：1.一种会聚离子束装置，其具有：电子束镜筒，其用于对试样照射电子束；会聚离子束镜筒，其用于对所述试样照射会聚离子束；以及试样载台，其直接或间接地载置所述试样，能够以与所述电子束和所述会聚离子束正交的倾斜轴为中心倾斜，并且能够沿高度方向移动，其特征在于，所述会聚离子束装置还具有：坐标取得单元，在针对所述试样指定了照射所述会聚离子束的多个照射位置时，该坐标取得单元取得各照射位置的平面坐标；移动量计算单元，其根据所述平面坐标，针对所述各照射位置计算使所述试样载台移动到共心高度Zs以使所述共心高度Zs与如下的交叉位置一致的移动量，所述交叉位置是所述电子束和所述会聚离子束一致的位置；以及试样载台移动控制单元，其针对所述各照射位置，根据所述移动量使所述试样载台移动到共心高度Zs，所述试样载台移动控制单元使所述试样载台沿Y轴方向移动，以对所述照射位置向所述Y轴方向偏移的偏移量L进行补偿，其中，所述Y轴与所述试样载台的水平面平行且与所述倾斜轴正交，所述试样载台移动控制单元以反映出因所述偏移量L引起的所述共心高度Zs的变动的方式，计算所述移动量。

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