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龙图腾网恭喜中北大学申请的专利一种基于原子力显微镜的光路集成结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111781401B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010743487.8，技术领域涉及：G01Q60/24；该发明授权一种基于原子力显微镜的光路集成结构是由李克武;邓祎昕;李元振;许涛;温斐旻设计研发完成，并于2020-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于原子力显微镜的光路集成结构在说明书摘要公布了：一种基于原子力显微镜的光路集成结构，包括：基板，用于提供支撑基础；载物台组件，设置在基板上用于放置待测物；激光发生组件，设置在基板上用于发出激光束；第一反射组件，设置在所述基板上用于将激光发生组件产生的激光束反射到载物台组件；第二反射组件，设置在所述基板上用于将载物台组件反射回来的激光束反射到探测器单元；探测器单元，设置在所述基板上用于接收第二反射组件反射来的激光束并感应激光束的落点位置。本发明的有益效果在于，本发明的结构通过双反射镜精准定位，定位精度可达纳米级，载物台组件和探针调节器可实现对探针的移动控制更加细微精确，省去大量光路调节时间，使得实验效率得到提升。

本发明授权一种基于原子力显微镜的光路集成结构在权利要求书中公布了：1.一种基于原子力显微镜的光路集成结构，其特征在于，包括：基板1，用于提供支撑基础；载物台组件，设置在基板1上用于放置待测物；激光发生组件8，设置在基板1上用于发出激光束；第一反射组件，设置在所述基板1上用于将激光发生组件8产生的激光束反射到载物台组件；第二反射组件，设置在所述基板1上用于将载物台组件反射回来的激光束反射到探测器单元14；探测器单元14，设置在所述基板1上用于接收第二反射组件反射来的激光束并感应激光束的落点位置；所述载物台组件包括：基座2、电机3、螺纹推进杆4、管状压电扫描器5、固定滑块31、载物片6、探针32；所述固定滑块31滑动设置在所述基座2内，所述电机3设置在所述基座2一端，所述固定滑块31上设置有螺纹孔，所述螺纹推进杆4一端与所述电机3的输出端连接，所述螺纹推进杆4另一端与所述固定滑块31的螺纹孔配合，所述固定滑块31上设置有固定板30，所述管状压电扫描器5设置在固定板30上，所述管状压电扫描器5上远离螺纹推进杆4一端设置所述载物片6，所述载物片6上设置所述探针32；所述探针32通过探针调节器15固定于载物片6上，所述探针调节器15包括：探针座33、底座40、齿轮组和调节旋钮，所述探针座33用于固定探针32，所述底座40固定设置在所述载物片6一端，所述探针座33设置在所述底座40上，所述底座40内靠近探针座33一侧开设有滑槽36，所述探针座33靠近底座40一侧设置有伸入滑槽36内的限位滑块35，所述齿轮组设置在所述底座40内并且一端外露，所述探针座33靠近底座40一侧设置设有凸齿34，所述凸齿34与齿轮组啮合，所述调节旋钮设置在所述底座40外部并与所述齿轮组另一端连接；所述载物台组件设置在所述基板1上表面的一侧，所述激光发生组件8、第一反射组件、第二反射组件和探测器单元14设置在所述基板1上表面的另一侧，所述第一反射组件和第二反射组件设置在所述激光发生组件8和探测器单元14之间，所述第一反射组件靠近所述激光发生组件8设置，所述第二反射组件靠近所述探测器单元14设置。

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