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龙图腾网恭喜拓荆科技股份有限公司申请的专利一种衬底传送装置及衬底传送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113838786B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010586841.0，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种衬底传送装置及衬底传送方法是由王燚;吴凤丽设计研发完成，并于2020-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种衬底传送装置及衬底传送方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种衬底传送装置及衬底传送方法，定位底座、定位杆和抓取装置，其中，底座位于本装置的下部，定位杆的一端与定位底座连接，定位杆的另一端与抓取装置连接。本发明一种具有取片功能的取片装置，在薄膜沉积结束后，可直接用该工具取送晶圆托盘，不受设备腔内温度的影响，且该机构使用安全，省力，在操作过程中，工具操作可以提高人身安全，克服了托盘较重、较大的苦难，加快了取片速度提高生产能力，降低操作者劳动强度，该装置运行方式灵活，处理效果稳定，提高了工作效率，减轻工人劳动强度，具有极高的生产经济价值。

本发明授权一种衬底传送装置及衬底传送方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底传送装置，其特征在于，包括：底座（1）、定位杆2和抓取装置3；其中，底座1位于本装置的下部，定位杆2的一端与底座1连接，定位杆2的另一端与抓取装置3连接；抓取装置3的下部设有转盘301，转盘301上设有多个长条形抓取臂302，抓取臂302的前端均设有向下的抓钩303，在转盘301圆心处设有旋转轴304，旋转轴304上设有旋转限位块305和旋转限位座401，旋转限位座401与旋转限位块305之间设有旋转限位销306，旋转限位座401位于两个定位底座402之间的横梁403上，所述旋转限位座401的下方横梁403上，设有升降限位块404；旋转动作中，取盘时，旋转限位块305和旋转限位座401左侧接触完成限位，放盘时，旋转限位块305和旋转限位座401右侧接触完成限位；所述旋转限位块305设有第一限位部，所述旋转限位座401设有第二限位部，所述第一限位部和所述第二限位部在以旋转轴（304）的轴线为旋转中心的周向上相对设置，取盘时，所述旋转限位块305的第一限位部和旋转限位座401的第二限位部的左侧接触完成限位，放盘时，旋转限位块305的第一限位部和旋转限位座401的第二限位部的右侧接触完成限位；升降动作中，上位时，旋转限位座401和升降定位块404接触完成限位，下位时，旋转限位块305和旋转限位座401接触完成限位。

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