恭喜株式会社岛津制作所竹下建悟获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社岛津制作所申请的专利质量分析方法以及质量分析装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115843386B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080100269.0,技术领域涉及:H01J49/00;该发明授权质量分析方法以及质量分析装置是由竹下建悟设计研发完成,并于2020-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本质量分析方法以及质量分析装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种质量分析方法,其所使用的质量分析装置1具备:第1移动机构151,使试样台14在与该试样台14平行的面内的第1方向上移动;第2移动机构152,使第1移动机构151在与试样台14平行的面内的不同于第1方向的第2方向上移动,其中,在载置于试样台14的试样中二维配置的多个测量点之间,将第1方向作为主移动方向而使激发射束的照射点间歇移动步骤4,在该多个测量点中分别进行质量分析步骤5。
本发明授权质量分析方法以及质量分析装置在权利要求书中公布了:1.一种质量分析方法,是使用了具备使试样台在与该试样台平行的面内的第1方向上移动的第1移动机构、使该第1移动机构在与该试样台平行的面内的不同于该第1方向的第2方向上移动的第2移动机构的质量分析装置的质量分析方法,其特征在于,利用所述第1移动机构使所述试样台在所述第1方向上移动,从而在载置于所述试样台的试样中二维配置的多个测量点之间,将所述第1方向作为主移动方向而使激发射束的照射点间歇移动,并在该多个测量点中分别进行质量分析,利用所述第1移动机构使所述试样台移动时的加速度大于利用所述第2移动机构使所述试样台移动时的加速度。
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