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恭喜科福罗有限公司阿隆·西格尔获国家专利权

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龙图腾网恭喜科福罗有限公司申请的专利圆形晶片横向定位装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113557599B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080020552.2,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权圆形晶片横向定位装置是由阿隆·西格尔;丹尼尔·亚希德斯;雅各布·勒格鲍姆设计研发完成,并于2020-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

圆形晶片横向定位装置在说明书摘要公布了:一种晶片定位装置,包括:至少一个固定止动件,定位在卡盘表面上的夹持位置的周边处;以及可伸长的指状物。指状延伸机构朝向卡盘表面的中心向外延伸指状物,并且远离卡盘表面的中心缩回指状物。当晶片放置在卡盘表面上并且指状延伸机构操作以向外延伸指状物时,指状物配置为朝向固定止动件横向地推动晶片,直到当指状物的远端在夹持位置的周边处时晶片的边缘接触固定止动件。

本发明授权圆形晶片横向定位装置在权利要求书中公布了:1.一种晶片定位装置,包括:至少一个固定止动件,定位在卡盘表面上的夹持位置的周边处;能伸长的指状物;以及指状延伸机构,用于朝向所述卡盘表面的中心向外延伸所述指状物,以及远离所述卡盘表面的中心缩回所述指状物,其中,当晶片放置在所述卡盘表面上并且所述指状延伸机构操作以向外延伸所述指状物时,所述指状物配置为朝向所述至少一个固定止动件横向地推动所述晶片,直到当所述指状物的远端在所述夹持位置的周边处时所述晶片的边缘接触所述至少一个固定止动件,其中,所述指状延伸机构包括能旋转的臂和用于旋转所述臂的旋转机构,所述指状物附接到所述臂,使得所述旋转机构在一个方向上旋转所述臂的操作朝向所述卡盘表面的中心向外延伸所述指状物,并且所述旋转机构在相反方向上旋转所述臂的操作远离所述卡盘表面的中心缩回所述指状物,其中,所述旋转机构是气动地操作的,并且其中,所述旋转机构连接到两个气动入口,其中,施加压缩气体到所述气动入口中的一个气动入口导致所述旋转机构在一个方向上旋转所述臂,并且施加压缩气体到另一个气动入口导致所述旋转机构在相反方向上旋转所述臂。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人科福罗有限公司,其通讯地址为:以色列达利亚特;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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