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龙图腾网恭喜卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利通过相消干涉抑制至少一个目标波长的光学衍射元件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113302559B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080009374.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权通过相消干涉抑制至少一个目标波长的光学衍射元件是由H.费尔德曼;V.博尔辛格;W.P.范德伦特;J.P.H.本斯乔普设计研发完成，并于2020-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本通过相消干涉抑制至少一个目标波长的光学衍射元件在说明书摘要公布了：一种用于通过相消干涉抑制至少一个目标波长的光学衍射元件。该光学衍射元件具有至少三个衍射结构层级。所述衍射结构层级N1、N2、N3、N4可指配给至少两个衍射结构群组。所述衍射结构群组中的第一个用于抑制第一目标波长λ1。所述衍射结构群组中的第二个用于抑制第二目标波长λ2。对所述两个目标波长λ1和λ2而言以下成立：λ1‑λ22λ1+λ2220％。所述衍射结构层级的形貌可描述为两个二元衍射结构群组的叠加。所述二元衍射结构群组中的每一个的相邻表面区段之间的边界区域均具有线性路程，并至多沿着该线性路程的各区段彼此叠加。结果是其特别是针对杂散光抑制的使用可能性扩展的光学衍射元件。

本发明授权通过相消干涉抑制至少一个目标波长的光学衍射元件在权利要求书中公布了：1.一种光学衍射元件64；117；118；119；120；121-包含一周期性光栅结构轮廓，具有三个衍射结构层级N1至N3；N1至N4；N1至N5，该周期性光栅结构轮廓包含衍射结构，-相对于一参考平面预定义不同结构深度，-其中所述衍射结构的布置使得红外波长范围中的第一目标波长λ1附近的一波长范围具有辐射分量，所述该第一目标波长被该周期性光栅结构轮廓衍射，该辐射分量具有至少在该第一目标波长λ1的零和或+-一阶衍射中彼此相消干涉的至少三个不同相位，-其中所述衍射结构层级N1至N3；N1至N4；N1至N5预定义沿着一周期行进方向x规律重复的该周期性光栅结构轮廓的光栅周期p的形貌，-其中所述衍射结构层级N1至N3；N1至N4；N1至N5包含：--中性衍射结构层级N2，其对应于为零的参考高度，--正衍射结构层级N1，其设置为相对于该中性衍射结构层级N2高λ14+-20％的光学路径长度，以及--负衍射结构层级N3；N3、N4；N3、N4，N5，其设置为相对于该中性衍射结构层级N2低λ14+-20％的光学路径长度。

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