恭喜荣芯半导体(宁波)有限公司刘宁宁获国家专利权
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龙图腾网恭喜荣芯半导体(宁波)有限公司申请的专利一种提高晶圆量测准确率的方法、系统及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119689799B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510216578.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种提高晶圆量测准确率的方法、系统及存储介质是由刘宁宁设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提高晶圆量测准确率的方法、系统及存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供一种提高晶圆量测准确率的方法、系统及存储介质，该方法包括：基于设计图形在量测软件中生成预定义量测图形；基于光学仿真模型进行仿真，得到仿真图形，仿真图形表征掩模版上的图形投影在晶圆上得到的图形，掩模版上的图形是基于设计图形确定的；获取预定义量测图形与仿真图形的相似度；调整预定义量测图形的形貌参数直到预定义量测图形与仿真图形的相似度在预设阈值范围内；基于调整后的预定义量测图形对晶圆进行量测，得到量测数据。本申请方案通过调整预定义量测图形的形貌参数直到预定义量测图形与仿真图形的相似度在预设阈值范围内，能够最大程度地使预定义量测图形与晶圆上投影得到的实际图形保持一致，提高晶圆量测的准确率。
本发明授权一种提高晶圆量测准确率的方法、系统及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种提高晶圆量测准确率的方法，其特征在于，所述方法包括：基于设计图形在量测软件中生成预定义量测图形；基于光学仿真模型进行仿真，得到仿真图形，所述仿真图形表征掩模版上的图形投影在晶圆上得到的图形，所述掩模版上的图形是基于所述设计图形确定的；获取所述预定义量测图形与所述仿真图形的相似度，包括：基于所述预定义量测图形的形貌函数与所述仿真图形的形貌函数获取所述预定义量测图形与所述仿真图形的相似度；调整所述预定义量测图形的形貌参数直到所述预定义量测图形与所述仿真图形的相似度在预设阈值范围内；基于调整后的所述预定义量测图形对所述晶圆进行量测，得到量测数据，所述量测数据用于建立基于光学临近效应修正技术的光学仿真模型。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人荣芯半导体(宁波)有限公司，其通讯地址为：315809 浙江省宁波市北仑区柴桥街道金水桥路28号4幢1号1层-1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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