买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜法博思(宁波)半导体设备有限公司申请的专利基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119714121B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510213599.5，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置是由李志松;侯懿;宋金龙设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置，涉及光学干涉测量技术领域，利用初始位置的波前相位分布数据和多个旋转后的波前相位分布数据的平均值，得到旋转非对称误差；然后将参考镜沿着X轴平移，并测量平移后的波前相位分布数据，根据平移后的波前相位分布数据得出旋转对称误差，将旋转对称误差和与旋转非对称误差进行结合即可到所求解的面形误差。本申请提供的一种基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置消除了待测镜翻转所带来的误差，提高了测量精度，简化了测量步骤，且提高了面形检测的稳定性。

本发明授权基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法，其特征在于，包括：步骤1：获取叠加干涉条纹图，利用傅里叶变换分离所述叠加干涉条纹图中的多信号频率信息，并获取初始位置的波前相位分布数据；步骤2：分别获取参考镜等角度旋转多次后的波前相位分布数据，得到多个旋转后的波前相位分布数据；步骤3：将初始位置的波前相位分布数据和多个旋转后的波前相位分布数据进行分组，得到两组平均波面；具体为：将初始位置的波前相位分布数据和多个旋转后的波前相位分布数据根据角度大小进行排序，将排序后的波前相位分布数据分为奇数项波面和偶数项波面，并分别计算奇数项平均波面和偶数项平均波面；步骤4：将两组平均波面分别顺时针和逆时针旋转180°后进行叠加，并计算平均波面；步骤5：将平均波面与初始位置的波前相位分布数据做差分方程，得到面形误差的旋转非对称误差；步骤6：获取参考镜旋转至初始位置，并沿X轴平移后的波前相位分布数据，得到平移后的波前相位分布数据；步骤7：将平移后的波前相位分布数据与初始位置的波前相位分布数据做差分，得到差分面形误差；步骤8：将差分面形误差进行Zernike拟合，得到面形误差的旋转对称误差和项；步骤9：将面形误差的旋转非对称误差、面形误差的旋转对称误差和项进行波面求和，得到被测镜和参考镜的完整面形。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人法博思(宁波)半导体设备有限公司，其通讯地址为：315413 浙江省宁波市余姚市三七市镇云山中路28号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。