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恭喜江苏沃凯氟精密智造有限公司王辉获国家专利权

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龙图腾网恭喜江苏沃凯氟精密智造有限公司申请的专利一种半导体清洗槽漏水检测设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119555299B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510132564.9,技术领域涉及:G01M3/10;该发明授权一种半导体清洗槽漏水检测设备是由王辉;辛瑞;常洪振设计研发完成,并于2025-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体清洗槽漏水检测设备在说明书摘要公布了:本发明涉及漏水检测技术领域,具体说是一种半导体清洗槽漏水检测设备;包括检测池以及所述检测池外壁上连通的进液管和出液管;所述进液管远离检测池底壁设置;所述出液管靠近检测池底壁设置;所述检测池的规格大于清洗槽本体;所述检测池内注有检测液;所述检测池中心正上方位置设有检测板;所述检测板形状规格与清洗槽本体内壁横截面相适应;本发明通过检测板下移进入至清洗槽本体内侧,从而增大清洗槽本体内侧气体压强后,并观察清洗槽本体周围的检测液气泡产生情况,进而快速完成半导体清洗槽的漏水检测,相比较现有的清洗槽本体装入检测液的检测方式而言,本发明的检测方式更加方便和快捷。

本发明授权一种半导体清洗槽漏水检测设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体清洗槽漏水检测设备,包括检测池以及所述检测池外壁上连通的进液管和出液管;所述进液管远离检测池底壁设置;所述出液管靠近检测池底壁设置;所述检测池的规格大于清洗槽本体;所述检测池内注有检测液;其特征在于:所述检测池中心正上方位置设有检测板;所述检测板形状规格与清洗槽本体内壁横截面相适应;所述检测板与清洗槽本体内壁活动密封配合;所述检测板上方固定连接电动推杆;所述电动推杆通过L形架固连在检测池的后侧;所述电动推杆能够带动检测板进入清洗槽本体内侧;所述检测板下表面固定连接四个导向板;所述导向板靠上一端靠近检测板对应的边缘;所述导向板靠下一端倾斜朝向检测板下方中心位置;侧向方向的所述导向板宽度大于前后方向的导向板宽度;所述导向板具有弹性;所述检测板上下贯穿设置有储存槽;所述储存槽内固定连接收集袋;所述收集袋由柔性材料制成;所述检测池内底壁固定连接检测座;检测座上表面固定连接支撑槽;检测座上表面设置有加强槽;加强槽内滑动密封连接着加强条;支撑块与支撑槽之间滑动密封连接;支撑块靠下一端与支撑槽槽壁之间通过弹簧连接;支撑槽槽底与加强槽槽底之间通过气孔连通,加强条靠上一端固定连接斜条。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏沃凯氟精密智造有限公司,其通讯地址为:221634 江苏省徐州市沛县河口镇袁圩子村;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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