恭喜粤芯半导体技术股份有限公司练沈楠获国家专利权
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龙图腾网恭喜粤芯半导体技术股份有限公司申请的专利一种加工数据的处理方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119557326B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510113880.1,技术领域涉及:G06F16/245;该发明授权一种加工数据的处理方法是由练沈楠;李耕宽;陈微涛设计研发完成,并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加工数据的处理方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种加工数据的处理方法,其中,该方法包括:间隔预设更新周期在晶圆加工工艺所对应的多个数据源中抽取多个预设数据表,多个预设数据表用于描述基于晶圆加工工艺进行预先配置的加工数据;响应于针对目标查询数据的查询操作,在所述多个预设数据表中查询出与所述目标查询数据匹配的至少一个加工批次;在所述用户交互界面中显示出每个加工批次的加工状态表。
本发明授权一种加工数据的处理方法在权利要求书中公布了:1.一种加工数据的处理方法,其特征在于,通过终端设备提供晶圆加工工艺对应的用户交互界面,所述方法包括:间隔预设更新周期在晶圆加工工艺所对应的多个数据源中抽取多个预设数据表,多个预设数据表用于描述基于晶圆加工工艺进行预先配置的加工数据,其中,多个数据源包括生产执行系统和配方管理系统,所述生产执行系统对应的预设数据表包括预先配置好的设备能力表、设备基础信息表、加工批次状态表、加工流程数据表和设备约束信息表,所述配方管理系统对应的预设数据表包括抽取配方用料表;响应于针对目标查询数据的查询操作,在所述多个预设数据表中查询出与所述目标查询数据匹配的至少一个加工批次;在所述用户交互界面中显示出每个加工批次的加工状态表,所述加工状态表包括加工批次的目标加工步骤的显示数据,所述显示数据包括加工步骤名称、执行加工步骤所需的设备能力、符合所述设备能力的所有设备的设备标识和设备数量、符合加工步骤的加工条件的设备数量;其中,通过以下方式在所述用户交互界面中显示出每个加工批次的加工状态表:在多个预设数据表中查询出该加工批次的所述目标加工步骤的显示数据,在所述用户交互界面中显示该加工批次的所述目标加工步骤的显示数据;所述目标查询数据包括以下至少一项:加工批次标识、加工晶圆产品标识、加工设备能力、加工区域和加工工序进程状态,其中,所述目标加工步骤包括当前加工步骤或者筛选加工步骤,所述当前加工步骤指的是仅通过预设查询条件进行查询出的加工批次的当前加工步骤,所述预设查询条件用于指示在所述目标查询数据为所述加工批次标识和或所述加工晶圆产品标识时的查询条件,所述筛选加工步骤指的是除所述预设查询条件之外的查询条件进行查询出的加工批次的加工步骤。
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