买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种工件台组件、半导体生产设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542241B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510104321.4，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种工件台组件、半导体生产设备及方法是由陈文枢;杨博光;王鑫鑫;蔡晨;冒鹏飞设计研发完成，并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种工件台组件、半导体生产设备及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种工件台组件、半导体生产设备及方法，工件台组件包括工件台本体和压边机构；工件台本体包括吸盘座和吸盘，吸盘设在吸盘座上；多个压边机构环绕布置在吸盘外周；压边机构包括水平驱动件、垂向驱动件、压板部，水平驱动件与吸盘座连接，垂向驱动件与水平驱动件连接，压板部与垂向驱动件连接；水平驱动件和垂向驱动件状态保持时，压板部与吸盘相对静止。工件台组件用于半导体生产设备，半导体生产设备工作时执行：使吸盘吸附基板；检测基板的状态是否符合预设应用条件，若是，则执行预设操作，若否，则利用压边机构在线压边，再执行预设操作，确保预设操作顺利进行。

本发明授权一种工件台组件、半导体生产设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种工件台组件，其特征在于，包括工件台本体和多个压边机构；所述工件台本体包括吸盘座和吸盘，所述吸盘设置在所述吸盘座上；多个所述压边机构环绕地布置在所述吸盘的外周；每个所述压边机构均包括：水平驱动件，与所述吸盘座连接；垂向驱动件，与所述水平驱动件连接，并在所述水平驱动件的驱使下沿水平方向移动以靠近或远离所述吸盘；压板部，与所述垂向驱动件连接，并在所述垂向驱动件的驱使下沿垂向移动以靠近或远离所述吸盘；所述压板部包括转接板和压条，所述转接板与所述垂向驱动件连接，所述压条连接在所述转接板朝向所述水平驱动件的一侧；以及，围挡部，与所述转接板连接，并位于所述压条远离所述吸盘的一侧；所述围挡部包括第一挡边和第二挡边，所述第一挡边连接在所述转接板朝向所述水平驱动件的一侧，且所述第一挡边在垂向上的尺寸大于所述压条在垂向上的尺寸；所述第二挡边为柔性结构，并连接在所述第一挡边的自由端，且突出于所述转接板的自由端；所述第二挡边朝向所述水平驱动件的一端与所述第一挡边朝向水平驱动件的一端对齐；所有的所述压边机构的所述围挡部能够拼接形成环形结构；所述工件台组件被配置为在所述水平驱动件和所述垂向驱动件进行状态保持时，使所述吸盘与所述压板部保持相对静止。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海微电子装备(集团)股份有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区张东路1525号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。