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龙图腾网恭喜山东大学申请的专利共振激励微谐振器获得高频率稳定性边带的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119483536B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510059304.3，技术领域涉及：H03H9/02；该发明授权共振激励微谐振器获得高频率稳定性边带的方法是由刘铎;王浩然设计研发完成，并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本共振激励微谐振器获得高频率稳定性边带的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种共振激励微谐振器获得高频率稳定性边带的方法，属于微机电系统调控领域，包括：在探测电压下测得微悬臂梁谐振器二阶弯曲模态与一阶扭转模态的频率响应，确定本征频率；在一阶扭转模态处泵浦诱导二阶弯曲模态和一阶扭转模态发生非线性模态耦合，获得窄线宽边带；利用锁相放大器测量微悬臂梁谐振器的频率稳定性，获得了高频率稳定性的边带。本发明只采用信号发生器输出泵浦信号对微谐振器进行调制，就可以获得窄线宽高频率稳定性的边带，原理性强，操作简便。本发明首次在悬臂梁单一系统中获得微悬臂梁谐振器窄线宽高频率稳定性的边带，对于提升微悬臂梁谐振器的频率稳定性及研究谐振器的非线性动力学行为具有重要意义。

本发明授权共振激励微谐振器获得高频率稳定性边带的方法在权利要求书中公布了：1.一种共振激励微谐振器获得高频率稳定性边带的方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：在探测电压下测得微悬臂梁谐振器二阶弯曲模态与一阶扭转模态的频率响应，确定本征频率；S2：在一阶扭转模态处泵浦诱导二阶弯曲模态和一阶扭转模态发生非线性模态耦合，获得了窄线宽边带；S3：利用锁相放大器测量微悬臂梁谐振器的频率稳定性，获得了高频率稳定性的边带；步骤S2的实现过程为：S21：采用信号发生器输出频率为fp的泵浦信号，大小与一阶扭转模态的本征频率ft相同，并逐步增大泵浦电压Vpump，Vpump的大小从250mV逐步增大到350mV，此泵浦信号通过压电谐振器施加在微悬臂梁谐振器的悬臂梁上；S22：采用锁相放大器输出一个探测电压信号，通过压电谐振器施加在微悬臂梁谐振器的悬臂梁上，用以探测悬臂梁的频率响应，然后选择锁相放大器自带的频率响应分析模块的频率扫描，分别扫描在一阶扭转模态施加泵浦信号后的频率范围：230kHz-435kHz、92.87kHz-94.87kHz、235.6kHz-239.3kHz、425kHz-428.7kHz，悬臂梁的边带频谱响应曲线显示在与锁相放大器相连接的计算机上，通过线宽拟合分别得到了红边带与蓝边带的线宽，分别为、；S23：通过边带频谱响应曲线发现微悬臂梁的二阶弯曲模态本征频率f2频移至f2’并与一阶扭转模态发生非线性耦合产生红蓝边带，红边带频率为fr，蓝边带频率为fb，线宽、得到缩小，获得了窄线宽的边带；步骤S3的实现过程为：S31：选择锁相放大器自带的锁相环模块，输入二阶弯曲模态、一阶扭转模态、红边带与蓝边带相应的频率与相位，实现对二阶弯曲模态、一阶扭转模态、红边带与蓝边带的锁相频率追踪；S32：然后选择锁相放大器自带的绘图仪，微悬臂梁谐振器的悬臂梁的二阶弯曲模态、一阶扭转模态、红边带与蓝边带的时域信号显示在与锁相放大器相连接的计算机上；S33：通过对二阶弯曲模态、一阶扭转模态、红边带与蓝边带的时域信号进行Allan偏差分析，得到Allan偏差。

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