恭喜华海清科股份有限公司刘晟桤获国家专利权
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龙图腾网恭喜华海清科股份有限公司申请的专利晶圆支撑座、旋转支撑装置、清洗装置、晶圆旋转测速方法及晶圆清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119447019B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510012184.1，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权晶圆支撑座、旋转支撑装置、清洗装置、晶圆旋转测速方法及晶圆清洗方法是由刘晟桤;路新春;王科;李长坤设计研发完成，并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆支撑座、旋转支撑装置、清洗装置、晶圆旋转测速方法及晶圆清洗方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种晶圆支撑座、旋转支撑装置、清洗装置、晶圆旋转测速方法及晶圆清洗方法。晶圆支撑座包括：支撑组件；支撑轴，所述支撑组件可摆动地连接于所述支撑轴；驱动轮，装设于所述支撑组件；测速轮，装设于所述支撑组件，并且，所述驱动轮与所述测速轮的转轴平行设置，所述驱动轮和所述测速轮的周向外缘均开设有用于支撑晶圆的环形槽；配重件，连接于所述支撑组件，用于对所述支撑组件施加可摆动的力。本申请中，在晶圆自身重力作用下，摆动的驱动轮和测速轮会自动找正晶圆的支撑位置，晶圆在驱动轮和测速轮中的插入深度可保持稳定，驱动轮和测速轮可对晶圆进行稳定支撑以及减少晶圆的掉速机率。
本发明授权晶圆支撑座、旋转支撑装置、清洗装置、晶圆旋转测速方法及晶圆清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆支撑座，其特征在于，所述晶圆支撑座用于支撑竖直放置的晶圆，其包括：支撑组件；支撑轴，所述支撑组件可摆动地连接于所述支撑轴；装设于所述支撑组件的驱动轮和测速轮，所述驱动轮用于驱动晶圆旋转，所述测速轮用于检测晶圆的转速，所述驱动轮与所述测速轮的转轴平行设置，所述驱动轮和所述测速轮的周向外缘均开设有用于支撑晶圆的环形槽；配重件，连接于所述支撑组件的背对晶圆的一侧，用于对所述支撑组件施加可摆动的力，所述配重件的重量与所述晶圆的重量相匹配；在所述晶圆放入所述晶圆支撑座前，所述配重件使所述晶圆支撑座向外摆动，在所述晶圆放入所述晶圆支撑座后，晶圆的重力使所述晶圆支撑座向内摆动，以使所述驱动轮和所述测速轮自动找正晶圆的支撑位置。
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