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龙图腾网恭喜苏州镁伽科技有限公司申请的专利一种晶圆检测方法及晶圆检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119375150B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411933562.1，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种晶圆检测方法及晶圆检测系统是由夏磊设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆检测方法及晶圆检测系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆检测方法及晶圆检测系统，获取通过探测器探测到的第一光斑位置以及第二光斑位置；基于第一光斑位置和第二光斑位置，调整辅助反射镜的第一倾斜度，以使第一光斑位置和第二光斑位置重合；通过探测器探测到的迈克尔逊干涉条纹，调整辅助反射镜的第一轴向距离；将参考物镜、测量物镜和第三透镜加入光路中，通过探测到的林尼克干涉条纹调整参考物镜的第二倾斜度和第一偏心距离；将辅助反射镜替换为参考反射镜，参考反射镜与参考物镜固定在同一机械件上。通过额外引入一个独立的辅助反射镜，辅助反射镜的调配自由度更高，不会被参考物镜所干扰，能够实现参考物镜和参考反射镜的装调维度的解耦，提高装调效率和准确度。

本发明授权一种晶圆检测方法及晶圆检测系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测方法，其特征在于，所述方法包括：在配置光源（101）、第一透镜（102）、分束器（103）、待测晶圆（105）、第二透镜（108）和探测器（111）位于光路中时，获取通过所述探测器（111）探测到的第一光斑位置，以及在配置所述光源（101）、所述第一透镜（102）、所述分束器（103）、辅助反射镜（1071）、第二透镜（108）、和所述探测器（111）位于光路中时，获取通过所述探测器（111）探测到的第二光斑位置；基于所述第一光斑位置和所述第二光斑位置，调整所述辅助反射镜（1071）的第一倾斜度，以使所述第一光斑位置和所述第二光斑位置重合；在配置所述光源（101）、所述第一透镜（102）、所述分束器（103）、所述辅助反射镜（1071）、所述待测晶圆（105）、所述第二透镜（108）和所述探测器（111）位于光路中时，通过所述探测器（111）探测到的迈克尔逊干涉条纹，调整所述辅助反射镜（1071）的第一轴向距离；在配置所述光源（101）、所述第一透镜（102）、所述分束器（103）、所述辅助反射镜（1071）、所述待测晶圆（105）、所述第二透镜（108）、所述探测器（111）、参考物镜（106）、测量物镜（104）和第三透镜（110）位于光路中时，通过探测到的林尼克干涉条纹调整所述参考物镜（106）的第二倾斜度和第一偏心距离；将所述辅助反射镜（1071）替换为参考反射镜（1072），所述参考反射镜（1072）与所述参考物镜（106）固定在同一机械件上。

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