恭喜苏州镁伽科技有限公司王志彦获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州镁伽科技有限公司申请的专利一种套刻测量方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119376194B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411931229.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种套刻测量方法、装置、设备及存储介质是由王志彦设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种套刻测量方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种套刻测量方法、装置、设备及存储介质，涉光刻技术领域。本申请应用于成像套刻测量设备的控制器，响应对待测晶圆的测试指令，移动光阑至多个测试位置，测量每个测试位置下由设备引入的误差；依据测试位置的变化对设备误差的影响，确定设备误差最小的情况下，待测晶圆对应的目标光阑位置；调整光阑至目标光阑位置，并控制成像套刻测量设备，对待测晶圆中的套刻标记进行套刻测量。本申请在由光阑引入的误差最小的情况下，对待测晶圆进行套刻测量，提升套刻测量的准确性。
本发明授权一种套刻测量方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种套刻测量方法，其特征在于，应用于成像套刻测量设备的控制器，所述成像套刻测量设备包括至少一个光阑，所述套刻测量方法包括：响应于测试指令，获取所述至少一个光阑中一光阑对应的预设个数的测试位置；控制所述光阑依次移动至每个所述测试位置对待测晶圆进行套刻测量，分别获取所述成像套刻测量设备在每个所述测试位置下的设备误差，所述设备误差表征所述光阑位置变化引入的误差；依据所述测试位置的变化对所述设备误差的影响，确定所述待测晶圆对应的目标光阑位置；调整所述光阑至所述目标光阑位置，并控制所述成像套刻测量设备，对所述待测晶圆中的套刻标记进行套刻测量。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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