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恭喜中国计量科学研究院刁晓飞获国家专利权

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龙图腾网恭喜中国计量科学研究院申请的专利激光双色差动共焦定面干涉非球面参数测量装置与方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119594893B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411796178.1,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权激光双色差动共焦定面干涉非球面参数测量装置与方法是由刁晓飞;周长伟;张韬;周良全;韩蔚;王艺轩设计研发完成,并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

激光双色差动共焦定面干涉非球面参数测量装置与方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种激光双色差动共焦定面干涉非球面参数测量装置与方法,属于表面形貌精密测量领域,包括激光系统、差动共焦系统、干涉精密测量系统、信号处理系统;激光系统产生一束长波长激光和一束短波长激光,短波长激光进入差动共焦系统用于待测非球面表面的定位,信号处理系统根据定位调节激光双色差动共焦定面干涉非球面参数测量装置与待测非球面表面的位置,长波长激光进入干涉精密测量系统并输出待测非球面表面的电信号,信号处理系统通过处理所述电信号获得待测非球面表面的面形结果。本发明可以实现被测非球面表面精准定位和面形快速精密测量且共光路,具有高精度、高灵敏度、高分辨率以及通用性强等特点。

本发明授权激光双色差动共焦定面干涉非球面参数测量装置与方法在权利要求书中公布了:1.一种激光双色差动共焦定面干涉非球面参数测量装置,其特征在于,包括:激光系统、差动共焦系统、干涉精密测量系统、信号处理系统;所述激光系统产生一束长波长激光和一束短波长激光,所述短波长激光进入所述差动共焦系统用于待测非球面表面的定位,所述信号处理系统根据所述定位调节所述激光双色差动共焦定面干涉非球面参数测量装置与所述待测非球面表面的位置,所述长波长激光进入所述干涉精密测量系统并输出所述待测非球面表面的电信号,所述信号处理系统通过处理所述电信号获得所述待测非球面表面的面形结果;所述激光系统包括:长波长激光器、短波长激光器、波分复用器、准直镜组、滤光片、第一四分之一波片、反射镜、偏振分光镜、第二四分之一波片、第一透镜、二向色镜;所述波分复用器、所述准直镜组、所述偏振分光镜依次同轴放置;在所述偏振分光镜的反射方向依次同轴放置所述滤光片、所述第一四分之一波片、所述反射镜;在所述偏振分光镜的透射方向依次同轴放置所述第二四分之一波片、所述第一透镜;经过所述偏振分光镜后的反射光与透射光分别经过两次四分之一波片,偏振方向改变,其中透射光变为反射光,反射光变为透射光,并回到所述偏振分光镜处合并为一束后到达所述二向色镜;所述差动共焦系统设置在所述二向色镜的透射方向,所述干涉精密测量系统设置在所述二向色镜的反射方向;所述差动共焦系统包括:第二透镜、位置传感器、第一分光镜、第三透镜、第一针孔、第一光电探测器、第二分光镜、第二光电探测器、第二针孔、第四透镜;在所述第一分光镜的反射方向依次同轴放置所述第一透镜和所述位置传感器;在所述第一分光镜的透射方向设置所述第二分光镜;在所述第二分光镜的透射方向依次放置所述第三透镜、所述第一针孔和所述第一光电探测器;在所述第二分光镜的反射方向依次放置所述第二透镜、所述第二针孔和所述第二光电探测器;所述干涉精密测量系统包括:四象限干涉信号探测器、分束镜;在所述二向色镜的反射方向依次同轴放置所述分束镜和所述四象限干涉信号探测器。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国计量科学研究院,其通讯地址为:100029 北京市朝阳区北三环东路18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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