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龙图腾网恭喜苏州中科科仪技术发展有限公司申请的专利一种离子泵抽速测量工装及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119146047B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411642383.2，技术领域涉及：F04B51/00；该发明授权一种离子泵抽速测量工装及测量方法是由张峥;刘立军;韩超;聂平岩;李赏;王超设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种离子泵抽速测量工装及测量方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种离子泵抽速测量工装及测量方法，其属于离子泵性能测试领域，其技术要点在于：所述离子泵抽速测量工装包括依次连接的：气源、充气腔组件、过渡腔组件、测试腔组件；充气腔组件与流量计连接；充气腔组件、过渡腔组件、测试腔组件均连接有分子泵，过渡腔组件还连接有稳压离子泵，待测离子泵连接测试腔组，充气腔构件与过渡腔构件通过第一连接管道连接，在第一连接管道上设置有第一小孔和第一开关阀；过渡腔构件与测试腔构件通过第二连接管道连接，在第二连接管道上设置有第二小孔和第二开关阀。采用本申请的技术方案，能够测量离子泵在超高真空条件下的抽速。

本发明授权一种离子泵抽速测量工装及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种离子泵抽速测量工装，其用于对待测离子泵的抽速进行测试；其特征在于，所述离子泵抽速测量工装包括：充气腔组件、过渡腔组件、测试腔组件、气源；其中，充气腔组件包括：充气腔构件、流量计、充气腔真空计组件、第一分子泵、第一前级泵；充气腔构件的内部设置有充气腔；所述流量计、所述充气腔真空计组件分别与所述充气腔连通；所述第一前级泵、所述第一分子泵、所述充气腔构件依次连接；其中，所述过渡腔组件包括：过渡腔构件、第三开关阀、过渡腔真空计组件、第二分子泵、第二前级泵、稳压离子泵；所述过渡腔构件的内部设置有过渡腔；所述稳压离子泵、所述过渡腔真空计组件分别与所述过渡腔构件连通；所述第二前级泵、所述第二分子泵、所述第三开关阀、所述过渡腔构件依次连接；其中，所述测试腔组件包括：测试腔构件、第四开关阀、测试腔真空计组件、第三分子泵、第三前级泵；所述测试腔组件的内部设置有测试腔；所述第三前级泵、所述第三分子泵、所述第四开关阀、所述测试腔构件依次连接；所述测试腔真空计组件与所述测试腔构件连通；其中，充气腔组件、过渡腔组件、测试腔组件之间的连接关系是：所述充气腔构件与所述过渡腔构件通过第一连接管道连接，在第一连接管道上设置有第一小孔，在第一连接管道上设置有第一开关阀；所述过渡腔构件与所述测试腔构件通过第二连接管道连接，在第二连接管道上设置有第二小孔，在第二连接管道上设置有第二开关阀；其中，所述气源与所述流量计连接；充气腔真空计组件包括有2个以上的充气腔真空计；过渡腔真空计组件包括有2个以上的过渡腔真空计。

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