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龙图腾网恭喜安徽美达伦光伏科技有限公司申请的专利一种用作晶硅光伏电池隧穿钝化层的复合膜及制备设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119521836B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411642233.1，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权一种用作晶硅光伏电池隧穿钝化层的复合膜及制备设备是由杨晓磊;樊远胜;宛正;杨恒春设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用作晶硅光伏电池隧穿钝化层的复合膜及制备设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用作晶硅光伏电池隧穿钝化层的复合膜及制备设备，涉及光伏电池生产技术领域，包括由底板和上盖组成的反应腔室，还包括同轴波导，其安装于反应腔室底部，所述同轴波导一端于反应腔室下方安装有矩形波导，另一端于反应腔室内安装有基台，所述基台和底板之间安装有石英玻璃环，扩散式进气组件，其转动安装于上盖中，所述上盖内安装有分流托架，所述扩散式进气组件底部与分流托架相搭接，所述分流托架底部设有环形分流腔和位于环形分流腔内的中心分流盘。本发明通过扩散式进气组件和分流托架的设计，气体能够均匀分布到反应腔室的各个角落，从而提高了反应的均匀性，使得隧穿钝化层的质量更加稳定可靠。

本发明授权一种用作晶硅光伏电池隧穿钝化层的复合膜及制备设备在权利要求书中公布了：1.一种用作制备晶硅光伏电池隧穿钝化层的复合膜的设备，该复合膜由氧化硅和氧化锆组成，且氧化硅与氧化锆在复合膜中均匀分布，所述复合膜由氧化硅与氧化锆交替堆叠或相互混合形成，所述复合膜包括采用化学气相沉积法或等离子体增强CVD法进行制备，该设备包括由底板101和上盖102组成的反应腔室1，其特征在于，还包括：同轴波导2，其安装于反应腔室1底部，所述同轴波导2一端于反应腔室1下方安装有矩形波导201，另一端于反应腔室1内安装有基台202，所述基台202和底板101之间安装有石英玻璃环203；扩散式进气组件3，其转动安装于上盖102中，所述上盖102内安装有分流托架4，所述扩散式进气组件3底部与分流托架4相搭接，所述分流托架4底部设有环形分流腔401和位于环形分流腔401内的中心分流盘402；若干个分流调节阀5，其分别位于环形分流腔401和分流托架4之间的多个连通处，且扩散式进气组件3与分流调节阀5传动连接，当所述扩散式进气组件3转动时，驱动分流调节阀5开合。

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