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龙图腾网恭喜扬州华镀新材料科技有限公司申请的专利一种薄膜器件制备工艺的高均匀压力反应箱获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222878077U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422394357.4，技术领域涉及：C23C14/54；该实用新型一种薄膜器件制备工艺的高均匀压力反应箱是由齐润泽设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种薄膜器件制备工艺的高均匀压力反应箱在说明书摘要公布了：本实用新型涉及薄膜器件制备技术领域，公开了一种薄膜器件制备工艺的高均匀压力反应箱，本实用新型解决了现有技术中薄膜制备过程中惰性气体与氧气流量不均匀导致成膜不匀的问题。通过箱体顶端设置的压力监测仪和安全阀管，确保了高压环境下的安全性；增压管道与外部增压泵的连通，实现了对箱体内部压力的控制，为薄膜的制备提供了均匀的压力环境。进气管上的气流控制组件，包括驱动电机、转鼓、分散盘和涡轮扇叶等，实现了对反应箱内部惰性气体与氧气流动均匀性调控，通过设置磁悬浮轴承和料台转盘，提高了设备的运转效率，减少了磨损。

本实用新型一种薄膜器件制备工艺的高均匀压力反应箱在权利要求书中公布了：1.一种薄膜器件制备工艺的高均匀压力反应箱，包括箱体（1），所述箱体（1）顶端一侧设有压力监测仪（2），所述压力监测仪（2）的检测端伸入箱体（1）内，箱体（1）顶端另一侧连通设有安全阀管（4），箱体（1）顶端中部设有与外部增压泵连通的增压管道（11），所述箱体（1）一侧外壁的中部设有进气管（12），另一侧外壁的底部设有导气管（13），所述导气管（13）上连接有真空泵（3），其特征在于：所述进气管（12）上设有气流控制组件（5）；所述气流控制组件（5）包括驱动电机（51），所述驱动电机（51）固定安装在箱体（1）一侧的外壁上，驱动电机（51）的输出轴贯穿且其端部固接有驱动齿轮（52），所述驱动齿轮（52）上至少啮合连接有两个转鼓（53），转鼓（53）的两端均设有齿环，所述转鼓（53）的一端转动连接在进气管（12）伸入箱体（1）的端部，至少两个转鼓（53）另一端的齿环外壁上共同啮合有分散盘（54），所述分散盘（54）的一端转动连接有引流罩（55），另一端上转动连接有涡轮扇叶（56），所述引流罩（55）固定安装在箱体（1）靠近驱动电机（51）一侧的内壁上。

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