恭喜北京中拓光电科技有限公司贾侦华获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京中拓光电科技有限公司申请的专利一种晶圆抓取机械手及抓取设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222883517U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422233506.9,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种晶圆抓取机械手及抓取设备是由贾侦华;张奇;伊文君;徐杰设计研发完成,并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆抓取机械手及抓取设备在说明书摘要公布了:一种晶圆抓取机械手及抓取设备,涉及晶圆自动检测分选技术领域。本实用新型的晶圆抓取机械手包括竖向滑动板,其底部设置有沿水平方向延伸的吸盘固定板,吸盘固定板的底部间隔设置有至少两个沿圆周方向均布的真空吸盘,在至少两个真空吸盘的中心位置设置有形变胶垫,形变胶垫在自然状态下,其底面低于至少两个真空吸盘的底面,高度差为ΔH1,形变胶垫在高度上的最大形变量大于ΔH1。本实用新型通过真空吸盘和形变胶垫的共同作用使得晶圆发生形变,从而破坏上下晶圆之间的气密性,使得真空吸盘可以实现晶圆的单片抓取。本实用新型解决了晶圆在分拣过程中无法自动单片抓取的问题。
本实用新型一种晶圆抓取机械手及抓取设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆抓取机械手,包括竖向滑动板,所述竖向滑动板的底部设置有吸盘固定板,所述吸盘固定板沿水平方向延伸,所述吸盘固定板的底部间隔设置有至少两个真空吸盘,所述至少两个真空吸盘沿圆周方向均布,其特征在于:所述至少两个真空吸盘的中心位置设置有弹性件,所述弹性件在自然状态下,其底面低于所述至少两个真空吸盘的底面,高度差为ΔH1,所述弹性件在高度上的最大形变量大于ΔH1。
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