恭喜紫创(南京)科技有限公司李海鹏获国家专利权
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龙图腾网恭喜紫创(南京)科技有限公司申请的专利半导体检测装置、检测方法及半导体带有工艺腔的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111415875B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910670912.2，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权半导体检测装置、检测方法及半导体带有工艺腔的装置是由李海鹏设计研发完成，并于2019-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体检测装置、检测方法及半导体带有工艺腔的装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体检测装置、检测方法及半导体工艺装置，其中检测装置包括：晶圆承载装置，用于承载待检测晶圆；入射光系统，发射第一入射光；光束整形系统，将所述第一入射光整形成第一环形入射光，所述第一环形入射光经待检测晶圆的反射形成第一反射光；光学信号分拣系统，用于自所述第一反射光中分拣出非线性光学信号；控制系统，用于根据所述非线性光学信号获取所述待检测晶圆的第一缺陷信息。本发明用于实现制程中非破坏性的原子级缺陷检测，同时消除检测过程中非线性光学信号的各向异性。
本发明授权半导体检测装置、检测方法及半导体带有工艺腔的装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体检测装置，其特征在于，包括：晶圆承载装置，用于承载待检测晶圆；入射光系统，发射第一入射光；光束整形系统，将所述第一入射光整形成第一环形入射光，所述第一环形入射光经待检测晶圆的反射形成第一反射光；光学信号分拣系统，用于自所述第一反射光中分拣出非线性光学信号；控制系统，用于根据所述非线性光学信号获取所述待检测晶圆的第一缺陷信息；主信号采集系统，用于获取所述非线性光学信号，并将所述非线性光学信号传输至所述控制系统；附加信号采集系统，用于自所述第一反射光中获取附加光学信号，并将所述附加光学信号传输至所述控制系统。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人紫创(南京)科技有限公司，其通讯地址为：211800 江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢_373；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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