恭喜南开大学王广才获国家专利权
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龙图腾网恭喜南开大学申请的专利磁吸式抛光夹具和抛光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110385632B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910655129.9，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权磁吸式抛光夹具和抛光装置是由王广才;王静;李菁;欧琳设计研发完成，并于2019-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁吸式抛光夹具和抛光装置在说明书摘要公布了：本发明属于抛光技术领域，具体涉及一种磁吸式抛光夹具和抛光装置。本发明为了解决传统抛光过程中上片和取片工序繁琐、耗时长且易碎片的问题，本发明提出的磁吸式抛光夹具包括夹具本体，所述夹具本体的正面开设有第一止口，第一止口面上用于放置待抛光件；所述夹具本体的背面开设有多个盲孔，盲孔内用于放置磁体；在待抛光件放置于第一止口面上之后，放置于盲孔内的磁体能够将待抛光件吸附于第一止口面上。本发明的磁吸式抛光夹具采用磁力吸附放片和取片，无需采用粘接剂，无需烘箱加热，在室温下即可完成放片和取片工序。不仅在取片和装片的过程中用时更短，而且解决了传统抛光机采用粘接剂放片和取片时容易碎片的问题。
本发明授权磁吸式抛光夹具和抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种磁吸式抛光夹具，应用于晶圆抛光工艺，其特征在于，所述磁吸式抛光夹具包括夹具本体，所述夹具本体的正面开设有第一止口，第一止口面上用于放置待抛光件；所述夹具本体的背面开设有多个盲孔，所述盲孔内用于放置第一磁体；在所述待抛光件放置于所述第一止口面上之后，放置于所述盲孔内的第一磁体能够将所述待抛光件吸附于所述第一止口面上；所述夹具本体的背面开设有第二止口，并且所述盲孔均匀地分布在所述第二止口的第二止口面上；在每个所述盲孔的底面开设有穿透所述第一止口面的通孔，所述通孔用于防止所述待抛光件与所述第一止口面之间产生真空吸附；其中，所述第一止口的深度小于所述待抛光件的厚度；所述第一止口的侧壁的外沿设置为圆角。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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