恭喜友威科技股份有限公司李原吉获国家专利权
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龙图腾网恭喜友威科技股份有限公司申请的专利表面平坦化机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222887851U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421709993.5，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型表面平坦化机构是由李原吉;刘品均;刘忠炯;林岱蔚;魏木元设计研发完成，并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本表面平坦化机构在说明书摘要公布了：本申请提供一种表面平坦化机构，其包含电浆处理装置、承载装置及调整装置。电浆处理装置用以对待制程物体的处理表面进行平坦化处理；承载装置供待制程物体放置，且使待制程物体对应于电浆喷头的位置；调整装置包含旋转调整单元及第一单轴调整单元，旋转调整单元以待处理表面的中心为圆心进行旋转，第一单轴调整单元能够控制待制程物体进行单轴直线移动，且使电浆喷头能够经过待处理表面的中心。藉此，本申请能够达到降低操作难度、降低制程成本、维持制程高精度和简化制程机构的目的。
本实用新型表面平坦化机构在权利要求书中公布了：1.一种表面平坦化机构，其特征在于，所述表面平坦化机构能够根据待制程物体的表面平坦度数据，对所述待制程物体的待处理表面进行平坦化处理，所述表面平坦化机构包括：电浆处理装置，包含有电浆喷头，用以对所述待制程物体的所述待处理表面进行平坦化处理；承载装置，与所述电浆处理装置以垂直方向相邻设置，所述承载装置供所述待制程物体放置，且使所述待制程物体对应于所述电浆喷头的位置；以及调整装置，设置于所述承载装置远离所述电浆处理装置一侧，所述调整装置包含旋转调整单元及第一单轴调整单元，所述旋转调整单元与所述承载装置连接，以所述待处理表面的中心为圆心进行旋转，所述第一单轴调整单元与所述旋转调整单元连接，而能够控制所述待制程物体进行单轴直线移动，且使所述电浆喷头能够经过所述待处理表面的中心。
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