恭喜五邑大学刘贤哲获国家专利权
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龙图腾网恭喜五邑大学申请的专利一种镀膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222886753U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421590343.3,技术领域涉及:C23C14/24;该实用新型一种镀膜装置是由刘贤哲;廖芷樱;刘明峰;李淑瑜;梁宝文;黄爱萍;罗坚义设计研发完成,并于2024-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镀膜装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种镀膜装置,包括:蒸发箱体;坩埚,位于蒸发箱体的内腔,坩埚用于盛放镀膜材料;承载机构,设置在蒸发箱体的内腔,承载机构包括机械臂和载物块,机械臂的末端设置有第一驱动器,第一驱动器的驱动端与载物块的顶面连接,载物块的一侧设置有容纳槽,载物块的底面设置有与容纳槽连通的贯通孔,容纳槽用于放置基板,机械臂用于带动载物块移动以使载物块的底部与坩埚的开口之间的距离小于预设的距离阈值,且贯通孔位于坩埚的正上方,第一驱动器用于驱动载物块旋转以带动基板旋转,基板遮盖贯通孔;加热模块,位于蒸发箱体的内腔,加热模块用于加热坩埚。根据本申请提供的实施例,能够避免浪费镀膜材料以及提高成膜效果。
本实用新型一种镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种镀膜装置,其特征在于,包括:蒸发箱体;坩埚,位于所述蒸发箱体的内腔,所述坩埚用于盛放镀膜材料;承载机构,设置在所述蒸发箱体的内腔,所述承载机构包括机械臂和载物块,所述机械臂的末端设置有第一驱动器,所述第一驱动器的驱动端与所述载物块的顶面连接,所述载物块的一侧设置有容纳槽,所述载物块的底面设置有与所述容纳槽连通的贯通孔,所述容纳槽用于放置基板,所述机械臂用于带动所述载物块移动以使所述载物块的底部与所述坩埚的开口之间的距离小于预设的距离阈值,且所述贯通孔位于所述坩埚的正上方,所述第一驱动器用于驱动所述载物块旋转以带动所述基板旋转,其中,所述基板遮盖所述贯通孔;加热模块,位于所述蒸发箱体的内腔,所述加热模块用于加热所述坩埚。
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