恭喜圆周率半导体(南通)有限公司王海永获国家专利权
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龙图腾网恭喜圆周率半导体(南通)有限公司申请的专利一种用于FCBGA的MLO的加工方法及其产品获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116230552B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310036411.5,技术领域涉及:H01L21/48;该发明授权一种用于FCBGA的MLO的加工方法及其产品是由王海永;徐琛设计研发完成,并于2023-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于FCBGA的MLO的加工方法及其产品在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于FCBGA的MLO的加工方法及其产品,包括采用如下步骤:第一次PTH、前处理、第一次压膜、第一次曝光、第一次显影、电镀铜、第一次去膜、第一次闪蚀、压ABF、镭射、除胶、第二次PTH、第二次压膜、第二次曝光、第二次显影、填孔电镀、电金、第二次去膜、第二次闪蚀,加工方法简单。本发明加工方法简单、合理,操作方便,通过将pad引出至外层,使线路至于次外层,以镭射的方式将外层与次外层连通,从而减少探针误扎线路的风险,增加探针与pad的接触面,从而提高测试精度与成功率。
本发明授权一种用于FCBGA的MLO的加工方法及其产品在权利要求书中公布了:1.一种用于FCBGA的MLO的加工方法,其特征在于:包括如下步骤:S1、第一次PTH:先在基板1上进行PTH处理,附上一层1-3um的铜,作为第一导电层8;S2、第一次压膜、第一次曝光、第一次显影:在第一导电层8上通过压膜工艺形成第一干膜层9,然后再通过曝光、显影工艺,把需要镀铜的位置露出来;S3、电镀铜:在第一干膜层9上露出来的第一导电层8上再镀上一层16-20um的第一电镀铜层2,形成pad;S4、第一次去膜:去掉第一干膜层9;S5、第一次闪蚀:去掉第一导电层8;S6、压ABF:在基板1上压上一层ABF膜4;S7、镭射、除胶:通过镭射除去第一电镀铜层2接触面上的ABF膜4;S8、第二次PTH:在第一电镀铜层2上和ABF膜4上镀上一层第二导电层6;S9、第二次压膜:在第二导电层6上压上一层第二干膜层7;S10、第二次曝光、第二次显影:通过曝光、显影,把需要镀铜的第一电镀铜层2露出来;S11、填孔电镀:在第一电镀铜层2上镀上一层第二电镀铜层3;S12、电金:在第二电镀铜层3上镀上一层镀金层5;S13、第二次去膜:去除第二干膜层7;S14、第二次闪蚀:去掉第二导电层6。
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