恭喜纽富来科技股份有限公司安井健一获国家专利权
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龙图腾网恭喜纽富来科技股份有限公司申请的专利数据生成方法、带电粒子束照射装置以及计算机可读取的记录介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115938898B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210950737.4，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权数据生成方法、带电粒子束照射装置以及计算机可读取的记录介质是由安井健一设计研发完成，并于2022-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本数据生成方法、带电粒子束照射装置以及计算机可读取的记录介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种数据生成方法、带电粒子束照射装置以及计算机可读取的记录介质，能够高速且准确地进行包含曲线的图形的像素覆盖率计算。本发明的一个方式的数据生成方法将表现描绘图案的形状且由在规定方向上依次配置的多个控制点定义的参数曲线在极值以及拐点的位置分割而生成多个参数要素，对于各参数要素，从上述多个控制点中提取一部分控制点，将提取出的控制点在上述规定方向上依次连结而生成多边形，计算以规定尺寸分割带电粒子束的照射对象而得的多个矩形的划分区域各自的基于上述多边形的覆盖率，求出上述多个参数要素与上述多个划分区域的四边的交点，计算上述描绘图案的周缘部的划分区域的覆盖率。
本发明授权数据生成方法、带电粒子束照射装置以及计算机可读取的记录介质在权利要求书中公布了：1.一种带电粒子束照射方法，其特征在于，将表现描绘图案的形状且由在规定方向上依次配置的多个控制点定义的参数曲线在极值以及拐点的位置分割而生成多个参数要素，对于各参数要素，从上述多个控制点中提取一部分控制点，将提取出的控制点在上述规定方向上依次连结而生成多边形，计算以规定尺寸分割带电粒子束的照射对象而得的多个矩形的划分区域各自的基于上述多边形的覆盖率，求出上述多个参数要素与上述多个矩形的划分区域的四边的交点，计算上述描绘图案的周缘部的划分区域的覆盖率，基于上述覆盖率计算向各划分区域的照射量，控制带电粒子束照射装置而以计算出的上述照射量向上述照射对象照射上述带电粒子束，在该照射对象上描绘图案。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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