恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司余斌获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利具有碰撞测试功能的浸没光刻装置及碰撞测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114690576B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011625851.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权具有碰撞测试功能的浸没光刻装置及碰撞测试方法是由余斌;罗晋;赵丹平;王莘元设计研发完成，并于2020-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有碰撞测试功能的浸没光刻装置及碰撞测试方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种具有碰撞测试功能的浸没光刻装置及碰撞测试方法，所述具有碰撞测试功能的浸没光刻装置包括：浸没单元；测试单元，包括测试件、测试线路和电气测试仪，所述电气测试仪通过所述测试线路分别与所述浸没单元和所述测试件电连接，所述电气测试仪用于测试所述浸没单元和所述测试件之间的电阻和或电容，以判断所述浸没单元和所述测试件在运行过程中二者之间是否发生碰撞；以及，承载单元，用于承载所述测试件，所述承载单元设置于所述浸没单元的下方。本发明的技术方案能够准确判断浸没单元与测试件在运行过程中二者之间是否发生碰撞，使得能够评估防碰撞功能的有效性，进而确保光刻机的安全运行。
本发明授权具有碰撞测试功能的浸没光刻装置及碰撞测试方法在权利要求书中公布了：1.一种具有碰撞测试功能的浸没光刻装置，其特征在于，包括：浸没单元；测试单元，包括测试件、测试线路和电气测试仪，所述电气测试仪通过所述测试线路分别与所述浸没单元和所述测试件电连接，所述电气测试仪用于测试所述浸没单元和所述测试件之间的电阻和电容、或者电阻，以判断所述浸没单元和所述测试件在运行过程中二者之间是否发生碰撞；以及，承载单元，用于承载所述测试件，所述承载单元设置于所述浸没单元的下方；其中，所述测试件具有相对的导电面和支撑面，所述导电面相比所述支撑面更靠近所述浸没单元，所述导电面具有至少两个相互绝缘的导电区，不同的所述导电区的电阻不同，所述浸没单元与所述测试件之间发生碰撞，则所述电气测试仪根据测试到的电阻获得所述导电面上发生碰撞的导电区。
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