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恭喜艾庞半导体科技(四川)有限公司周磊获国家专利权

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龙图腾网恭喜艾庞半导体科技(四川)有限公司申请的专利一种硅片清洗设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222890263U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520725323.0,技术领域涉及:B08B3/12;该实用新型一种硅片清洗设备是由周磊;段琳琳;丁媛;侯斌设计研发完成,并于2025-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种硅片清洗设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种硅片清洗设备,属于硅片加工技术领域。包括支撑架和放置架,支撑架顶部设置有清洁槽,清洁槽内盛装有清洗液,清洁槽的侧壁上水平间隔设置有若干个超声波发生器,放置架由连接架和限位架组成,放置架内形成由若干个用于容纳硅片的放置槽,放置架上设置有用于驱使硅片转动的第一驱动件,支撑架上位于清洁槽的一侧设置有放置台。通过放置架可以将多片硅片均匀间隔地限位安装在放置架中,可有效避免硅片之间相互摩擦,并且在将放置架转动沉入清洁槽内后,可通过清洗液和超声波发生器对硅片的两面进行有效的清洁,具有对清洗过程中硅片起到保护作用的效果。

本实用新型一种硅片清洗设备在权利要求书中公布了:1.一种硅片清洗设备,其特征在于:包括支撑架1和放置架2,所述支撑架1顶部设置有清洁槽11,所述清洁槽11内盛装有清洗液,所述清洁槽11的侧壁上水平间隔设置有若干个超声波发生器111,所述放置架2包括连接架21和限位架22,所述连接架21铰接设置在支撑架1上,所述连接架21上间隔设置有若干个用于容纳硅片的放置槽23,所述限位架22铰接设置在连接架21上,所述限位架22的活动端与连接架21可拆卸连接,所述限位架22用于限制硅片从放置槽23内脱离,所述放置架2上设置有用于驱使硅片转动的第一驱动件,所述支撑架1上位于清洁槽11的一侧设置有放置台12。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人艾庞半导体科技(四川)有限公司,其通讯地址为:629000 四川省遂宁市高新区云锦路8号1栋2楼202室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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