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龙图腾网恭喜正阳融合微电子技术(珠海)有限公司申请的专利一种气液喷淋系统及其气液供给管理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119812063B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510289200.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种气液喷淋系统及其气液供给管理方法是由彭勇;杨正朝设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气液喷淋系统及其气液供给管理方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种气液喷淋系统及其气液供给管理方法，所述系统包括气液管理模块、产品喷淋模块和设备维护输出模块。气液管理模块集成氮气、压缩空气、纯水、化学药水及循环水输入模组，通过第一连通管并联至产品喷淋模块和设备维护模块，实现介质快速切换与混合供给；产品喷淋模块的输入喷淋模组与输出回收模组连接，输出回收模组通过分类回收阀单元实现药液循环、纯水复用及废液定向排放；设备维护模块通过独立开关阀实现在线清洁。管理方法包括单一、交替或混合介质冲洗模式，动态调节气液流量比例控制湍流强度，并基于浓度阈值自动切换药液循环。本发明涉及TGV气液喷淋技术领域。

本发明授权一种气液喷淋系统及其气液供给管理方法在权利要求书中公布了：1.一种气液喷淋系统，其特征在于：包括气液管理模块（1）、产品喷淋模块（2）和设备维护输出模块（3）；所述气液管理模块（1）包括至少一个气态介质输入模组（10）和至少一个液态介质输入模组（20），所述气态介质输入模组（10）中包含氮气输入模组（11）和压缩空气输入模组（12）中的至少一种，所述液态介质输入模组（20）中包含纯水输入模组（13）、化学药水输入模组（15）中的至少一种，各输入模组的输出端均通过第一连通管（4）连接，所述第一连通管（4）的输出端分别连通至所述产品喷淋模块（2）的产品喷淋输入开关阀单元（211）和所述设备维护输出模块（3）的设备喷淋维护输入开关阀单元（31），所述产品喷淋模块（2）包括输入喷淋模组（21）和输出回收模组（22），所述输入喷淋模组（21）的输入端连接所述产品喷淋输入开关阀单元（211），所述输出回收模组（22）通过第二连通管（221）与所述输入喷淋模组（21）的排放端连接；所述产品喷淋输入开关阀单元（211）和设备喷淋维护输入开关阀单元（31）为电气互锁设计；在设备维护场景下，关闭所述产品喷淋输入开关阀单元（211），开启所述设备喷淋维护输入开关阀单元（31），通过选择气态介质或液态介质通过外部维护设备对喷淋系统进行在线清洁。

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