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龙图腾网恭喜正阳融合微电子技术(珠海)有限公司申请的专利一种图形和线路的湿法制造的装置及其喷淋方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119812064B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510289205.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种图形和线路的湿法制造的装置及其喷淋方法是由彭勇;杨正朝设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种图形和线路的湿法制造的装置及其喷淋方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种图形和线路的湿法制造的装置及其喷淋方法，该装置包括喷淋腔体、带气胀轴的转盘架、前摆动机构和后摆动机构，通过第一驱动电机驱动空心转轴组件带动转盘架旋转，齿轮传动组件驱动后摆动喷管反向扇形摆动，与前摆动喷管同步形成非同心喷淋轨迹；该喷淋方法包括以下步骤：首先将产品固定于转盘架上并启动旋转；然后，通过齿轮传动组件和第二驱动电机分别驱动后摆动喷管和前摆动喷管同步摆动；接着，外部化学药液通过气液导流轴和直接供液方式输送到两组喷管，广角喷嘴垂直于产品表面进行喷淋，形成非同心覆盖路径；最后，在干燥阶段，外部气体通过相同管道结构对产品表面进行吹扫干燥。本发明涉及图形和线路湿法制造的技术领域。

本发明授权一种图形和线路的湿法制造的装置及其喷淋方法在权利要求书中公布了：1.一种图形和线路的湿法制造的装置，其特征在于，包括：喷淋腔体（1），其内部设有可旋转的转盘架（2）；第一驱动电机（4），所述第一驱动电机（4）的输出端穿过喷淋腔体（1）通过空心转轴组件（41）与所述转盘架（2）相连接；前摆动机构（3），配置于所述喷淋腔体（1）上；后摆动机构（5），配置于所述转盘架（2）上；产品夹具（10），安装于所述转盘架（2）四周均匀分布的若干气胀轴（11）上；其中，所述前摆动机构（3）的输出端位于所述喷淋腔体（1）前侧，所述产品夹具（10）位于所述前摆动机构（3）和后摆动机构（5）之间，所述后摆动机构（5）包括齿轮传动组件（51）和后摆动喷管（52），所述齿轮传动组件（51）由转盘架（2）驱动并反向传动，以带动所述后摆动喷管（52）相对于转盘架（2）的旋转方向进行扇形摆动；当所述转盘架（2）带动所述产品夹具（10）旋转时，所述后摆动喷管（52）和前摆动机构（3）同步摆动，对产品双面进行非同心轨迹的喷淋。

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