恭喜南京信息工程大学孙与飏获国家专利权
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龙图腾网恭喜南京信息工程大学申请的专利一种N型横向器件及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119789486B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510281431.8,技术领域涉及:H10D30/65;该发明授权一种N型横向器件及制备方法是由孙与飏;张加宏;邓钰冰;董凯珠;卢光林设计研发完成,并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种N型横向器件及制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种N型横向器件及制备方法,该器件在传统横向双扩散金属氧化物半导体基础上,增设另一组栅极与电流通路,通过下多晶硅栅与上多晶硅栅协同控制,形成两条并联的源漏电流通路;同时在N—硅层內嵌入一个浮置P型硅层,在相同击穿电压下,可以提高N—硅层的掺杂浓度,从而进一步降低器件的导通电阻。制备方法中利用Si‑SiO₂键合、离子注入、等离子刻蚀、原子层淀积及热氧化层生长等工艺方法制备器件,其制备工艺兼容标准CMOS工艺。在相同芯片面积下,本发明器件的电流密度提升至传统LDMOS的两倍以上;同时下层二氧化硅的设计,易于实现器件之间的完全隔离,提高器件的高温稳定性与抗辐照能力。
本发明授权一种N型横向器件及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种N型横向器件,其特征在于,在P型衬底(1)上设有下二氧化硅层(2),在下二氧化硅层(2)上刻蚀一个窗口并填充多晶硅形成下多晶硅栅(3);在下二氧化硅层(2)和下多晶硅栅(3)上设有下栅氧化层(4),在下栅氧化层(4)上依次排列设有源极金属层(1102)、第二N+硅层(1002)、P—硅层(6)、N—硅层(5)、第一N+硅层(1001)和漏极金属层(1101),所述P—硅层(6)设于对应下多晶硅栅(3)之上的位置,在所述N—硅层(5)上设有场氧化层(7);在P—硅层(6)、第一N+硅层(1001)和第二N+硅层(1002)的上表面,场氧化层(7)的上表面以及两侧,分别设有上栅氧化层(8);在上栅氧化层(8)上、对应P—硅层(6)之上的位置设有上多晶硅栅(9);所述上多晶硅栅(9)、下多晶硅栅(3)分别作为器件的上多晶硅栅极和下多晶硅栅极;当上下两个多晶硅栅极同时开启后,在P—硅层(6)上部与上栅氧化层(8)之间、对应上多晶硅栅极的位置形成上导电沟道,P—硅层(6)下部与下栅氧化层(4)之间、对应下多晶硅栅极的位置形成下导电沟道,对应形成源极与漏极之间的上下两条电流通路。
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