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龙图腾网恭喜华晟昇纳米科技(成都)有限公司申请的专利一种用腔体璧作阳极罩且精简结构的小型圆形平面靶获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119710603B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510240169.2，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种用腔体璧作阳极罩且精简结构的小型圆形平面靶是由张斌;周君君设计研发完成，并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用腔体璧作阳极罩且精简结构的小型圆形平面靶在说明书摘要公布了：本发明涉及磁控溅射镀膜技术领域，具体涉及一种用腔体璧作阳极罩且精简结构的小型圆形平面靶，包括镀膜机本体，镀膜机本体内设置有真空腔体，真空腔室的腔体壁上设置有贯通内外的安装孔，还包括安装法兰，安装法兰在镀膜机本体的外表面安装于安装孔的位置，安装法兰朝向安装孔的一侧安装有磁轨座，磁轨座的中心设置有中心柱磁铁，磁轨座环绕中心柱磁铁设置有环磁铁，磁轨座在中心柱磁铁和环磁铁之间设置有环形冷却槽，安装法兰远离安装孔的一侧设置有和环形冷却槽相连通的进水口和出水口，磁轨座远离安装法兰的一侧安装有靶。解决目前，大多数平面靶采用环磁铁和中心柱磁铁会直接浸泡在冷却水中的方式进行降温，这样会加快磁能消耗的问题。

本发明授权一种用腔体璧作阳极罩且精简结构的小型圆形平面靶在权利要求书中公布了：1.一种用腔体璧作阳极罩且精简结构的小型圆形平面靶，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体内设置有真空腔体，所述真空腔体的腔体壁（1）上设置有贯通内外的安装孔，其特征在于，还包括安装法兰（6），所述安装法兰（6）在镀膜机本体的外表面安装于所述安装孔的位置，所述安装法兰（6）朝向安装孔的一侧安装有磁轨座（12），所述磁轨座（12）的中心设置有中心柱磁铁（10），所述磁轨座（12）环绕所述中心柱磁铁（10）设置有环磁铁（9），所述磁轨座（12）在中心柱磁铁（10）和环磁铁（9）之间设置有环形冷却槽，所述安装法兰（6）远离安装孔的一侧设置有和所述环形冷却槽相连通的进水口和出水口，所述磁轨座（12）远离安装法兰（6）的一侧安装有靶材（15）；所述磁轨座（12）贴合安装法兰（6）一侧的中心位置设置有用于安装中心柱磁铁（10）的中心槽，环绕所述中心槽设置有用于安装环磁铁（9）的环形槽；所述磁轨座（12）和安装法兰（6）之间设置有后垫铁（11），所述后垫铁（11）覆盖所述中心槽和环形槽的槽口；所述磁轨座（12）通过磁轨座安装螺栓（14）与所述安装法兰（6）固定相连；环绕所述磁轨座（12）的外壁设置有安装绝缘法兰（7），所述安装绝缘法兰（7）置于所述安装法兰（6）和所述镀膜机本体表面之间。

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