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龙图腾网恭喜中国计量科学研究院申请的专利一种用于皮米级位移台的X射线干涉仪及位移测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119714144B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510213079.4，技术领域涉及：G01B15/00；该发明授权一种用于皮米级位移台的X射线干涉仪及位移测量方法是由李伟;高思田;吴金杰;施玉书;黄鹭设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于皮米级位移台的X射线干涉仪及位移测量方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种用于皮米级位移台的X射线干涉仪及位移测量方法，涉及干涉仪领域，该干涉仪中第一分光器设置在X射线源的出射光路上；第一反射器和第二分光器分别设置在第一分光器的透射光路上；分析器设置在第一反射器的反射光路和第二分光器的第一透射光路上；第三分光器设置在第二分光器的第二透射光路上；第二反射器设置在第三分光器的反射光路上；第三反射器设置在第三分光器的透射光路上；第三分光器设置在第二和第三反射器的反射光路上；探测模块设置在分析器和第三分光器的出射光路上，探测干涉条纹强度，处理器根据强度计算X、Y方向上的位移，本申请仅用一个光源即可实现同时对二维运动进行皮米级精度的测量，结构简单，辐射风险小。

本发明授权一种用于皮米级位移台的X射线干涉仪及位移测量方法在权利要求书中公布了：1.一种用于皮米级位移台的X射线干涉仪，其特征在于，所述用于皮米级位移台的X射线干涉仪包括：X射线源、第一分光器、第二分光器、第三分光器、第一反射器、第二反射器、第三反射器、分析器、探测模块和处理器；所述第三反射器和所述分析器设置在皮米级位移台的运动部分；所述第一分光器、所述第二分光器、所述第三分光器、所述第一反射器、所述第二反射器、所述第三反射器和所述分析器均为晶体；所述第一分光器设置在所述X射线源的出射光路上；所述第一反射器设置在所述第一分光器的反射光路上；所述第二分光器设置在所述第一分光器的透射光路上；所述第一分光器的反射光路和所述第一分光器的透射光路相互垂直；所述分析器设置在所述第一反射器的反射光路和所述第二分光器的反射光路上；第三分光器设置在所述第二分光器的透射光路上；所述第二反射器设置在所述第三分光器的反射光路上；所述第三反射器设置在所述第三分光器的透射光路上；所述第三分光器设置在所述第二反射器的反射光路和所述第三反射器的反射光路上；所述探测模块设置在所述分析器的出射光路和所述第三分光器的出射光路上，所述探测模块用于探测所述分析器的出射光路产生的干涉条纹的强度和所述第三分光器的出射光路产生的干涉条纹的强度；所述处理器与所述探测模块连接，所述处理器用于根据所述分析器的出射光路产生的干涉条纹的强度和所述第三分光器的出射光路产生的干涉条纹的强度计算皮米级位移台在X方向上和Y方向上的位移；X方向和Y方向垂直。

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