买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利曲线掩膜版测试图形合集的生成方法、装置、介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119575772B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510145091.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曲线掩膜版测试图形合集的生成方法、装置、介质是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本曲线掩膜版测试图形合集的生成方法、装置、介质在说明书摘要公布了：本申请提供曲线掩膜版测试图形合集的生成方法、装置、介质、程序产品及终端，通过获取曲线掩膜版及其量测路径数据，调整线宽生成第一测试图形；定位交点并构建局部切线，平移切线并执行图形移除操作生成第二测试图形；在交点周围提取边界点，基于交点与边界点构建参考图形，并通过布尔运算结合生成第三测试图形。最终，将三种测试图形合并，形成多样化的测试图形合集。解决了曲线掩膜版测试图形设计与验证的不足，显著提高了生成效率和精准度，减少了设计时间，降低了制造过程中的分辨率错误，从而提升了测试图形的质量和可靠性，适用于半导体制造、纳米技术及高精度光刻等领域，具有广泛应用前景。

本发明授权曲线掩膜版测试图形合集的生成方法、装置、介质在权利要求书中公布了：1.一种曲线掩膜版测试图形合集的生成方法，其特征在于，包括：获取曲线掩膜版及其对应的量测路径；沿所述量测路径的方向调整所述曲线掩膜版的线宽，以生成第一测试图形；定位所述曲线掩膜版和所述量测路径的交点，并基于所述交点构建所述曲线掩膜版的局部切线；通过所述局部切线对所述曲线掩膜版执行图形移除操作，以生成第二测试图形，包括：沿所述局部切线向所述曲线掩膜版内部平移一个或多个单位距离，以生成平移过程中与所述曲线掩膜版重叠的平移区域；基于所述平移区域，从所述曲线掩膜版中切除相应的重叠区域，以生成所述第二测试图形；以所述交点为中心，以预设规则在所述曲线掩膜版上下边缘处各提取一个边界点，并基于所述交点和所述边界点构建参考图形，包括：将所述交点和所述边界点的坐标代入圆方程中，求解由所述交点和所述边界点构成的参考圆形，并得到所述参考圆形的半径及圆心坐标；根据布尔运算，将所述曲线掩膜版与所述参考图形结合，以生成第三测试图形，包括：对所述参考圆形的半径增加减少一个或多个单位距离，以生成多个更新半径；基于所述更新半径和所述圆心坐标生成多个衍生参考圆形；对每个衍生参考图形与所述曲线掩膜版执行布尔运算，以生成多个第三测试图形；其中，对每个衍生参考图形与所述曲线掩膜版执行布尔运算的过程包括：对落于所述曲线掩膜版外部的圆形部分执行联合操作；对落于所述曲线掩膜版内部的圆形部分执行取反操作；将所述第一测试图形，第二测试图形和第三测试图形合并，以生成测试图形合集。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华芯程(杭州)科技有限公司，其通讯地址为：311100 浙江省杭州市余杭区良渚街道网周路99号1幢22层2208室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。