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龙图腾网恭喜玛塔化研科技(苏州)有限公司申请的专利一种半导体微米级颗粒物的清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119446899B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411535039.3，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权一种半导体微米级颗粒物的清洗方法是由凡青松;堀熏夫设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体微米级颗粒物的清洗方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体清洗技术领域，具体地说，涉及一种半导体微米级颗粒物的清洗方法，其包括传送装置，传送装置上均匀设置有若干传送座，邻近传送装置上设置有喷淋架，喷淋架上设置有水泵，传送座上设置有第一驱动电机，第一驱动电机上设置有升降装置，升降装置上设置有芯片，喷淋架上位于圆形半导体托盘的正上方设置有喷淋桶，喷淋桶的顶端内围绕其圆心均匀设置有若干喷淋头，喷淋桶的圆心处设置有旋转管，旋转管一端与第二驱动电机的输出端相连接，另一端设置有聚水环，旋转管内转动连接有传动杆，传动杆一端与第三驱动电机的输出端相连接，另一端设置有雾化环，雾化环上设置有若干连杆，雾化环通过连杆与传动杆相连接。

本发明授权一种半导体微米级颗粒物的清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体微米级颗粒物的清洗方法，其包括传送装置（1），所述传送装置（1）上均匀设置有若干传送座（5），邻近所述传送装置（1）上设置有喷淋架（2），所述喷淋架（2）上设置有水泵（3），所述水泵（3）上连通有输液管（9），其特征在于：S1、所述传送装置（1）对传送座（5）进行间歇式传送，其中：所述传送座（5）上设置有第一驱动电机（6），所述第一驱动电机（6）上设置有升降装置（7），所述升降装置（7）上放置有圆形半导体托盘（8），所述圆形半导体托盘（8）上围绕其圆心呈圆周分部均匀固设有若干待清洗的半导体芯片；S2、喷淋架（2）上的喷淋装置开始配合传送装置（1）间歇式喷淋，其中喷淋装置包括：在所述喷淋架（2）上位于所述圆形半导体托盘（8）的正上方设置的喷淋桶（4），所述喷淋桶（4）的顶端内围绕其圆心均匀设置有若干喷淋头（10），所述输液管（9）一端与所述水泵（3）相连通，另一端延伸至所述喷淋桶（4）的顶端内并与所述喷淋头（10）相连通；S3、升降装置（7）将圆形半导体托盘（8）升至聚水环（16）内，其中：所述喷淋桶（4）的圆心处设置有旋转管（11），所述旋转管（11）位于所述喷淋桶（4）的一端设置有缓冲组件，喷淋头（10）喷出的清洗液经过缓冲组件后以雾状落向圆形半导体托盘（8）上，所述旋转管（11）一端延伸至喷淋桶（4）的顶端外，并与设置在喷淋桶（4）上的第二驱动电机（12）的输出端相连接，所述缓冲组件包括聚水环（16）和雾化环（13），所述聚水环（16）设置在所述旋转管（11）位于喷淋桶（4）内的另一端，用以聚拢落在圆形半导体托盘（8）上的清洗液；S4、圆形半导体托盘（8）在第一驱动电机（6）带动下高速旋转，聚水环（16）和雾化环（13）分别在第二驱动电机（12）和第三驱动电机（15）带动下高速旋转，其中：所述旋转管（11）内转动连接有传动杆（14），所述传动杆（14）一端延伸至喷淋桶（4）的顶端外，并与设置在喷淋桶（4）上的第三驱动电机（15）的输出端相连接，所述雾化环（13）设置在所述传动杆（14）位于喷淋桶（4）内的另一端，所述雾化环（13）上设置有若干连杆（22），所述雾化环（13）通过连杆（22）与传动杆（14）相连接，所述连杆（22）用以打散喷淋头（10）喷出的清洗液。

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