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龙图腾网恭喜同济大学;中国计量科学研究院申请的专利一种基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118884591B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411168208.4，技术领域涉及：G02B5/18；该发明授权一种基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备方法及装置是由邓晓;程鑫彬;王建波;殷聪;李同保;薛栋柏;周通;肖光旭;沈俊宇;尹志珺设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备方法及装置，涉及原子光刻技术领域，装置中光学频率梳的输出端与倍频光路连接；连续可调谐激光器的输出端与保偏光纤分束器的输入端连接；倍频光路和和保偏光纤分束器的第一输出端分别与光纤合束器的输入端连接；保偏光纤合束器的输出端与拍频检测光路的输入端连接；拍频检测光路的输出端通过光电接收器与功分器的输入端连接；频率计数器的输入端与功分器的第一输出端连接；偏频锁定系统的输入端与功分器的第二输出端连接；偏频锁定系统的输出端与连续可调谐激光器的控制输入端连接，本发明在实现原子光刻光栅尺寸拓展的同时保证了光栅的高衍射效率。

本发明授权一种基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备装置，其特征在于，包括，光学频率梳，连续可调谐激光器，倍频光路，保偏光纤分束器，保偏光纤合束器，拍频检测光路，功分器，频率计数器，偏频锁定系统以及原子光刻沉积系统；所述光学频率梳的输出端与所述倍频光路连接；所述连续可调谐激光器的输出端与所述保偏光纤分束器的输入端连接；所述连续可调谐激光器的输出端一侧依次设置有第二半波片和第二耦合器；所述倍频光路和和所述保偏光纤分束器的第一输出端分别与所述光纤合束器的输入端连接；所述保偏光纤合束器的输出端与所述拍频检测光路的输入端连接；所述拍频检测光路的输出端通过光电接收器与所述功分器的输入端连接；所述频率计数器的输入端与所述功分器的第一输出端连接；所述偏频锁定系统的输入端与所述功分器的第二输出端连接；所述偏频锁定系统的输出端与所述连续可调谐激光器的控制输入端连接；所述原子光刻沉积系统在真空环境下将金属粉末加热至升华状态并以泄流方式引出铬原子束，并对所述铬原子束进行准直，准直后的铬原子束经过激光会聚驻波场进行空间周期性分布调控，周期性排布原子沉积于基板上，形成原子光刻光栅结构；所述原子光刻沉积系统通过一狭缝或一横向激光光场以实现铬原子束的准直；所述原子光刻沉积系统会聚光与基板的切光比例为10％～50％；所述原子光刻沉积系统所用基板包括单晶硅、微晶玻璃或磷化铟材料；所述基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备装置通过一种基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备方法实现制备过程，包括以下步骤：S1、基于偏频锁定技术，搭建拍频光路，研制偏频锁定系统，将425.5nm连续激光严格锁定到可溯源至高准确度时间频率参考的光学频率梳；S2、固定改变偏频锁定值，基于原子光刻技术，采用铬原子束和激光会聚驻波场的相互作用，在基板上进行一次原子光刻，获得原子光刻光栅样板；S3、循环执行若干次S2；S4、通过表征各样板的形貌，确定原子光刻实验最佳的激光偏频锁定值，结合拼接原子光刻光栅方法制备高衍射效率的大面积原子光刻光栅。

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