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龙图腾网恭喜中国科学技术大学申请的专利同步辐射光源用的椭圆形真空盒的吸气剂镀膜方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119040823B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411158905.1，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权同步辐射光源用的椭圆形真空盒的吸气剂镀膜方法及装置是由王鹏程;刘佳明;贺华艳;朱邦乐;王思慧;黄涛;王勇设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本同步辐射光源用的椭圆形真空盒的吸气剂镀膜方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种同步辐射光源用的椭圆形真空盒的吸气剂镀膜方法及装置，其方法是通过制作表面呈螺旋丝段和陶瓷屏蔽段交替分布的阴极丝靶，使得其在真空盒内形成特定长度范围内的镀膜区域，同时通过将真空盒分为多段式的结构，将镀膜工艺分成两个阶段镀膜，将第一镀膜阶段和第二镀膜阶段中的镀膜段和屏蔽段对调，经过两个阶段的镀膜后形成完整的镀膜工艺；其装置包括机架、螺线管、升降平台、椭圆形的真空盒、阴极丝靶和第一波纹管，真空盒竖直安装于机架中，阴极丝靶设于真空盒内，且阴极丝靶顶部与第一波纹管连接，螺线管设于真空盒外周，且螺线管通过升降平台安装于机架中。本发明可实现大长度、小直径的椭圆形真空盒全区域内的镀膜均匀性。

本发明授权同步辐射光源用的椭圆形真空盒的吸气剂镀膜方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种同步辐射光源用的椭圆形真空盒的吸气剂镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：1靶材制作及安装：采用Ti丝、Zr丝和V丝均匀螺旋绕制在钨钢棒上，绕制完成后去掉钨钢棒，形成螺旋丝空心段，将螺旋丝空心段进行清洗后，再将若干个螺旋丝空心段串接在一根校直过的Ti丝上，形成一个完整的螺旋丝段；螺旋丝段串套完成后，在相邻位置的Ti丝上套设相同长度的陶瓷管，形成陶瓷屏蔽段；之后再在Ti丝上串套相同长度的螺旋丝段，如此交替往复，形成螺旋丝段与陶瓷屏蔽段交替布置的阴极丝靶；将阴极丝靶安装于真空盒内，阴极丝靶的顶端与第一波纹管连接，阴极丝靶的下端连接重锤机构；2第一镀膜阶段：阴极丝靶由上至下由若干长度相同的螺旋丝段与陶瓷屏蔽段交替组成，其中的螺旋丝段与真空盒对应区域之间保持了电子的通路，多个间隔的螺旋丝段合称为第一阶段镀膜区；阴极丝靶上陶瓷屏蔽段对应的区域中，每个陶瓷屏蔽段的长度相同且等于单个螺旋丝段的长度，多个间隔的陶瓷屏蔽段合称第一阶段屏蔽区；真空盒外周，由上至下分布有多个螺线管工位，多个螺线管工位合称为第一阶段工位群；每个螺线管工位应该满足以下位置条件：一、螺线管上下两端的边缘场区，须对应阴极靶材上的两个陶瓷屏蔽段；二、两个屏蔽段之间的镀膜段关于螺线管中心点对称；三、每个螺线管工位所覆盖的镀膜段不与其它工位覆盖的镀膜段重复；四、镀膜过程需要覆盖同一螺线管工位中的每个镀膜段；在镀膜开始时，先将螺线管调整至一个螺线管工位上，调整气压和阴极电位后完成该螺线管工位内各螺旋丝段对应的真空盒内壁的镀膜，之后再通过升降平台吊装螺线管，调整螺线管至下一个螺线管工位进行镀膜，所有螺线管工位中逐个镀膜完成后，第一镀膜阶段完成，此时真空盒内壁一半区域已经成膜；3第二镀膜阶段：首先调整第一波纹管长度，使阴极靶材相对真空盒进行轴向位移，使第一阶段镀膜区中的每个螺旋丝段正对第一阶段屏蔽区，形成了第二阶段镀膜区，而第一阶段屏蔽区中的每个陶瓷屏蔽段正对第一阶段镀膜区，形成第二阶段屏蔽区；对应的，第一阶段工位群的每个螺线管工位下降，形成第二阶段工位群；随后，对第二阶段工位群的各个螺线管工位进行镀膜，完成整个镀膜过程。

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