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恭喜广东华矽半导体设备有限公司胡晓增获国家专利权

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龙图腾网恭喜广东华矽半导体设备有限公司申请的专利一种探针寿命检测方法和探针台获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119027397B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411128797.3,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权一种探针寿命检测方法和探针台是由胡晓增;梁经伦;郭龙龙;张文涛;陈金宇;刘雨成;罗南生设计研发完成,并于2024-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。

一种探针寿命检测方法和探针台在说明书摘要公布了:本发明涉及一种探针寿命检测方法和探针台,其中,探针寿命检测方法包括:训练探针寿命深度学习模型;其具体训练方法包括:采集不同力控参数下探针全寿命周期过程中不同时序下的扎针针痕数据;对各扎针针痕数据进行处理,以突出针痕的时序特征;将处理后的各扎针针痕数据放入模型中进行训练,以得到探针寿命深度学习模型;使用训练好的探针寿命深度学习模型;其具体包括:采集探针在当前力控参数下的扎针针痕图像;对扎针针痕图像进行处理,以突出针痕的时序特征;探针寿命深度学习模型对处理后的扎针针痕图像的时序特征进行识别,以得到探针当前使用时间。根据本发明的技术方案,其可以提高探针寿命检测的准确性。

本发明授权一种探针寿命检测方法和探针台在权利要求书中公布了:1.一种探针寿命检测方法,其特征在于,包括:训练探针寿命深度学习模型;其具体训练方法包括:步骤S11:采集不同力控参数下探针全寿命周期过程中不同时序下的扎针针痕数据;步骤S12:对各所述扎针针痕数据进行处理,以突出针痕的时序特征;步骤S13:将处理后的各扎针针痕数据放入模型中进行训练,以得到探针寿命深度学习模型;步骤S13中将处理后的各扎针针痕数据放入模型中进行训练,具体为:将处理后的各扎针针痕数据放入D-CNN-LSTM模型内进行训练;使用训练好的探针寿命深度学习模型;其具体包括:步骤S21:采集探针在当前力控参数下的扎针针痕图像;步骤S22:对所述扎针针痕图像进行处理,以突出针痕的时序特征;步骤S23:所述探针寿命深度学习模型对处理后的扎针针痕图像的时序特征进行识别,以得到探针当前使用时间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东华矽半导体设备有限公司,其通讯地址为:523000 广东省东莞市松山湖园区新竹路4号11栋1单元101室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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