深圳市矩阵多元科技有限公司孙守祥获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种基片台的隔热结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222893240U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421928029.1，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种基片台的隔热结构是由孙守祥;凌日康;李炳坤;张晓军;姚酉设计研发完成，并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基片台的隔热结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基片台的隔热结构，涉及半导体生产技术领域，包括安装架、加热器和隔热组件，安装架设有连接杆，连接杆与安装架之间设有分隔两者的第一隔热套，能够减少连接杆与安装架之间的热量传递；加热器固定连接于连接杆上远离安装架的另一端，隔热组件包括包覆于加热器外周的包覆件和位于安装架与加热器之间的隔热板，通过包覆件减少加热器的热量辐射，减少热量传递，包覆件与加热器之间设有第二隔热套，包覆件与隔热板之间具有第三隔热套，第二隔热套与第三隔热套均套设于连接杆上，进一步地减少包覆件与加热器之间、隔热板与包覆件之间的热量传递，从而减少其他运动部件的温度，提高设备的运行稳定性。
本实用新型一种基片台的隔热结构在权利要求书中公布了：1.一种基片台的隔热结构，其特征在于，包括：安装架，设有连接杆，所述连接杆与所述安装架之间设有分隔两者的第一隔热套；加热器，固定连接于所述连接杆上远离所述安装架的另一端；隔热组件，包括包覆于所述加热器外周的包覆件和位于所述安装架与所述加热器之间的隔热板，所述连接杆穿设于所述包覆件与所述隔热板，所述包覆件与所述加热器之间设有第二隔热套，所述包覆件与所述隔热板之间具有第三隔热套，所述第二隔热套与所述第三隔热套均套设于所述连接杆上。
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