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龙图腾网获悉蒙城繁枫真空科技有限公司申请的专利真空低温磁控溅射镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222893236U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421898102.5，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型真空低温磁控溅射镀膜装置是由李剑飞;刘华林;王超;郝文涛;黄小卫设计研发完成，并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本真空低温磁控溅射镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及磁控溅射技术领域，尤其为真空低温磁控溅射镀膜装置，包括真空箱，真空箱的侧面设置有调节组件，真空箱内设置有固定组件，通过设置调节组件，需要对磁控靶进行调节时，启动驱动电机转动螺纹杆，进而移动块带着第一电动伸缩杆对磁控靶进行左右调节，然后通过第一电动伸缩杆将磁控靶进行上下调节，进而磁控靶可进行上下左右的进行调节，提高了实用性和工作效率，通过设置固定组件，由于固定架通过滑动槽与安装板滑动连接，进而便于将固定架拉出真空箱外固定需要加工的工件，导向板和限位板之间设置有减震弹簧，进而在对工件进行夹持时具有减震的效果，同时避免夹持力过大损坏工件的外表面，进而提高了便捷性和稳定性。

本实用新型真空低温磁控溅射镀膜装置在权利要求书中公布了：1.真空低温磁控溅射镀膜装置，包括真空箱1，其特征在于：真空箱1的侧面设置有调节组件2，所述真空箱1内设置有固定组件7；所述调节组件2包括真空箱1侧面安装的驱动电机201，所述驱动电机201的输出端固定连接有螺纹杆202，所述真空箱1的内表壁固定连接有转轴204，所述螺纹杆202贯穿真空箱1并延伸至转轴204内，所述螺纹杆202均与转轴204和真空箱1转动连接，所述螺纹杆202的外表面螺纹连接有移动块203，所述移动块203的底部固定连接有连接板205，所述连接板205的底部安装有旋转电机206，所述旋转电机206的输出端固定连接有第一电动伸缩杆209，所述第一电动伸缩杆209的底部固定连接有安装架207，所述安装架207的底部固定连接有磁控靶208；所述固定组件7包括真空箱1内的固定架704，所述真空箱1的内表壁固定连接有安装板701，所述安装板701的侧面开设有滑动槽702，所述固定架704的侧面固定连接有滑动板705，所述滑动板705的延伸至滑动槽702内并与滑动槽702滑动连接。

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