吉林华微电子股份有限公司刘小星获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林华微电子股份有限公司申请的专利加热供源装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222893243U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421522890.8，技术领域涉及：C23C16/448；该实用新型加热供源装置是由刘小星;赵炳博;李伟设计研发完成，并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热供源装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种加热供源装置。所述加热供源装置包括第一输入组件、第二输入组件、气化组件、测量组件、通道组件及输出组件。所述第一输入组件用于向所述气化组件输入待气化的原料，所述第二输入组件用于向已气化的气体所在的通道中输入保护气体，所述测量组件用于测量已气化的气体的流量。所述测量组件包括流量计、用于放置所述流量计的流量计容置腔及流量计加热底座，所述流量计容置腔与所述流量计加热底座连通，所述流量计加热底座用于对所述流量计加热。如此，通过上述结构，显著提升了流量计的耐用性，并且通过自动加源功能减少了对人工操作的需求，保证了四乙氧基硅烷TEOS在运输过程中的稳定性，提高整个生产流程的效率和可靠性。
本实用新型加热供源装置在权利要求书中公布了：1.一种加热供源装置，其特征在于，所述加热供源装置包括第一输入组件、第二输入组件、气化组件、测量组件、通道组件及输出组件；所述第一输入组件、所述第二输入组件及所述测量组件通过所述通道组件与所述气化组件连接，所述测量组件与所述输出组件连接；所述第一输入组件用于向所述气化组件输入待气化的原料，所述第二输入组件用于向已气化的气体所在的通道中输入保护气体，所述测量组件用于测量已气化的气体的流量；所述测量组件包括流量计、用于放置所述流量计的流量计容置腔及流量计加热底座，所述流量计容置腔与所述流量计加热底座连通，所述流量计加热底座用于对所述流量计加热。
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