恭喜北京北方华创微电子装备有限公司袁福顺获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利腔室冷却装置及半导体加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110890262B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811056758.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权腔室冷却装置及半导体加工设备是由袁福顺;刘皓;高建强;赵东华设计研发完成，并于2018-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本腔室冷却装置及半导体加工设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种腔室冷却装置及半导体加工设备，包括：冷却槽，设置在腔室底部，用于盛放冷却液体；多根冷却管，设置在冷却槽中，且在多根冷却管的管壁上均设置有出流口，多根冷却管上的出流口喷出的水流能够带动冷却槽中的冷却液体形成旋转湍流；多根进水管，一一对应地与多根冷却管连接；并且，在每根进水管上设置有通断阀和流量调节阀。本发明提供的腔室冷却装置，其可以使结构更紧凑、减少流速损失，还可以对多根冷却管中的流量进行独立控制，从而可以提高可操作性和水流均匀性。
本发明授权腔室冷却装置及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种腔室冷却装置，其特征在于，包括：冷却槽，设置在腔室底部，用于盛放冷却液体；多根冷却管，设置在所述冷却槽中，且在多根所述冷却管的管壁上均设置有出流口，多根所述冷却管上的出流口喷出的水流能够带动所述冷却槽中的冷却液体形成旋转湍流；多根进水管，一一对应地与多根所述冷却管连接；并且，在每根所述进水管上设置有通断阀和流量调节阀；每根所述冷却管的轴线水平设置；每个所述出流口的喷流方向相对于所述冷却管的轴线倾斜向上设置；每根所述进水管的一端与对应的所述冷却管连接，每根所述进水管的另一端与冷却液体源连接。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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