恭喜北京怀柔实验室张红丹获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京怀柔实验室申请的专利用于晶圆钝化工艺的支撑装置及具有其的转运设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222914782U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520610415.4，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型用于晶圆钝化工艺的支撑装置及具有其的转运设备是由张红丹;王亮;李玲;杜玉杰;唐新灵;魏晓光;刘瑞;焦倩倩设计研发完成，并于2025-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆钝化工艺的支撑装置及具有其的转运设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于晶圆钝化工艺的支撑装置及具有其的转运设备，其中，用于晶圆钝化工艺的支撑装置包括：基座；第一支撑件，设置在基座上，第一支撑件上设置有第一导向部，第一导向部用于与晶圆或者挡板导向配合；第二支撑件，与第一支撑件间隔地设置在基座上，第二支撑件上设置有第二导向部，第二导向部与晶圆或者挡板导向配合；其中，第一支撑件和第二支撑件之间形成用于容纳晶圆或者挡板的容纳区域。本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的晶圆或者挡板不易滑落至容纳区域内的问题。
本实用新型用于晶圆钝化工艺的支撑装置及具有其的转运设备在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆钝化工艺的支撑装置，其特征在于，包括：基座（10）；第一支撑件（20），设置在所述基座（10）上，所述第一支撑件（20）上设置有第一导向部（21），所述第一导向部（21）用于与晶圆或者挡板导向配合；第二支撑件（30），与所述第一支撑件（20）间隔地设置在所述基座（10）上，所述第二支撑件（30）上设置有第二导向部（31），所述第二导向部（31）与所述晶圆或者所述挡板导向配合；其中，所述第一支撑件（20）和所述第二支撑件（30）之间形成用于容纳所述晶圆或者所述挡板的容纳区域。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京怀柔实验室，其通讯地址为：101400 北京市怀柔区杨雁东一路8号院5号楼319室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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