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龙图腾网恭喜长园半导体设备(珠海)有限公司申请的专利一种高精度气浮移载机构及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119742269B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510246314.8，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种高精度气浮移载机构及其控制方法是由陈有亮;彭博;邓章;赖俊魁;颜智德;廖广兰;宿磊设计研发完成，并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高精度气浮移载机构及其控制方法在说明书摘要公布了：本申请公开了高精度气浮移载机构及其控制方法，包括：支撑台面、第一移载模组、第二移载模组、承载模组和控制模组；第一移载模组设置于支撑台面上；第二移载模组与第一移载模组的活动部连接；承载模组包括旋转模块、第一支撑板、载料板、第一气浮模块和第二气浮模块，第一支撑板内设有第一避让孔，第一气浮模块位于第一避让孔内，旋转模块设置于第一支撑板上，载料板同时与第一气浮模块、旋转模块的活动部连接，第一气浮模块用于在自身与支撑台面之间产生气膜，第二气浮模块设置于支撑台面的下表面，用于在第一支撑板和支撑台面之间产生气膜；控制模组用于分别控制第一气浮模块和第二气浮模块的工作状态。本申请能够承载更大的压力。

本发明授权一种高精度气浮移载机构及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种高精度气浮移载机构，其特征在于，包括：支撑台面；第一移载模组，所述第一移载模组的固定部设置于所述支撑台面上；第二移载模组，所述第二移载模组的固定部与所述第一移载模组的活动部连接；承载模组，所述承载模组位于所述支撑台面上，包括旋转模块、第一支撑板、载料板、第一气浮模块和第二气浮模块，所述第一支撑板内设有第一避让孔，所述第一气浮模块位于所述第一避让孔内，所述旋转模块的固定部设置于所述第一支撑板上，所述载料板的下表面同时与所述第一气浮模块、所述旋转模块的活动部连接，所述第一气浮模块用于在自身与所述支撑台面之间产生气膜，所述第二气浮模块设置于所述支撑台面的下表面，用于在所述第一支撑板和所述支撑台面之间产生气膜；控制模组，所述控制模组分别与所述第一气浮模块、所述第二气浮模块连接，用于分别控制所述第一气浮模块和所述第二气浮模块的工作状态；其中，所述承载模组还包括第二支撑板，所述第二支撑板在所述第一避让孔的位置处设有第二避让孔，所述第一气浮模块位于所述第一避让孔和所述第二避让孔内，所述载料板通过所述第二支撑板与所述旋转模块的活动部连接；所述旋转模块包括U型槽圆弧电机、第一滑轨和第一滑块，所述U型槽圆弧电机和所述第一滑轨的弧度与所述第一避让孔相对应，所述U型槽圆弧电机的固定部、所述第一滑轨分别与所述第一避让孔同心设置于所述第一支撑板上，所述U型槽圆弧电机的活动部与所述第二支撑板的下表面连接，所述第二支撑板的下表面还通过所述第一滑块与所述第一滑轨连接。

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