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龙图腾网恭喜上海派拉纶生物技术股份有限公司申请的专利具有内部通道和异形表面的微型器件的派瑞林涂布与去膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119698218B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510206253.2，技术领域涉及：H10N10/01；该发明授权具有内部通道和异形表面的微型器件的派瑞林涂布与去膜方法是由张岳;陈志争;杨玉衡;张金刚设计研发完成，并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有内部通道和异形表面的微型器件的派瑞林涂布与去膜方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种具有内部通道和异形表面的微型器件的派瑞林涂布与去膜方法，包括在微型器件上形成掩膜层和涂布派瑞林膜层；采用激光切割微型器件顶面和微型器件底面的侧边并去除掩膜层和派瑞林膜层；将微型器件完全包裹设置于治具内部，具有掩膜层和派瑞林膜层的异形表面的顶部伸出治具的顶部；采用氧气与氩气对异形表面的顶部进行等离子刻蚀以去除掩膜层和派瑞林膜层，其中，刻蚀功率为1000‑2000w，氧气的气体流量为60‑200sccm，氩气的气体流量为5‑20sccm。本发明采用激光切割和等离子刻蚀技术，能有效地在具有内部通道和异形表面的微型器件上进行派瑞林膜层涂布与去膜，并使膜层的断裂界面整齐、光滑，提升去膜效率和精确度，同时大幅度降低对器件的潜在损伤风险。

本发明授权具有内部通道和异形表面的微型器件的派瑞林涂布与去膜方法在权利要求书中公布了：1.一种具有内部通道和异形表面的微型器件的派瑞林涂布与去膜方法，其特征在于，包括以下步骤：S101、在所述微型器件顶面、所述微型器件底面和所述异形表面的顶部形成掩膜层；S102、采用气相沉积法在所述微型器件内部与外部表面涂布派瑞林膜层；S103、采用激光切割所述微型器件顶面和所述微型器件底面的侧边，然后去除所述微型器件顶面和所述微型器件底面上的掩膜层和派瑞林膜层；S104、将所述微型器件完全包裹设置于治具内部，具有掩膜层和派瑞林膜层的所述异形表面的顶部伸出所述治具的顶部；S105、采用氧气与氩气对所述异形表面的顶部进行等离子刻蚀以去除掩膜层和派瑞林膜层，其中，刻蚀功率为1000-2000w，氧气的气体流量为60-200sccm，氩气的气体流量为5-20sccm。

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