恭喜匠岭科技(上海)有限公司练勇强获国家专利权
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龙图腾网恭喜匠岭科技(上海)有限公司申请的专利一种光谱值计算模型训练方法、装置、介质及设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119377682B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411954794.5,技术领域涉及:G06F18/214;该发明授权一种光谱值计算模型训练方法、装置、介质及设备是由练勇强;胡晔琳;王勇;刘化庆;党江涛;高海军设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光谱值计算模型训练方法、装置、介质及设备在说明书摘要公布了:在本说明书提供的一种光谱值计算模型训练方法、装置、介质及设备,确定目标光谱维度,并获取第一结构参数集合作为训练样本,对应的光谱值作为标注。再根据目标光谱维度构建待训练的光谱值计算模型,将训练样本输入该光谱值计算模型,将输出与标注之间的差异最小为优化目标,训练该光谱值计算模型。根据确定出的目标维度数量,构建待训练的光谱值计算模型,使训练完成的光谱值计算模型输出目标维度数量的光谱值,提高了构建原生数据库的效率。另外光谱值计算模型的大小远小于原生数据库的大小,使得在不同设备进行光学临界尺寸测量时,可通过在不同设备中迁移光谱值计算模型,代替原生数据库的迁移,提高了迁移速度并节省设备的存储资源。
本发明授权一种光谱值计算模型训练方法、装置、介质及设备在权利要求书中公布了:1.一种光谱值计算模型训练方法,其特征在于,包括:确定目标维度数量,并获取光栅模型的第一结构参数集合作为训练样本,以及所述第一结构参数集合对应的在所述目标维度数量下的光谱值作为标注,其中,所述光栅模型基于待测光栅的结构建立;所述确定目标维度数量,包括:获取所述光栅模型的第二结构参数集合以及所述光栅模型对应的第二理论光谱值,确定原始数据集;根据所述原始数据集在各降维维度数量下的复原精度,确定目标维度数量;所述根据所述原始数据集在各降维维度数量下的复原精度,确定目标维度数量,包括:确定降维评分,将所述降维评分输入预设的降维函数,确定所述降维评分对应的降维维度数量以及降维后的各光谱维度;确定所述降维维度数量的复原精度;以所述复原精度不小于预设精度,且所述降维维度数量最小为调整目标,调整所述降维评分,并重新通过所述降维函数,确定调整后的降维评分对应的降维维度数量以及降维后的各光谱维度,并重新计算调整后的降维维度数量对应的复原精度,直至确定出满足所述调整目标的目标维度数量以及所述目标维度数量对应的各光谱维度;根据所述目标维度数量,构建待训练的光谱值计算模型;将所述训练样本输入所述光谱值计算模型,确定所述光谱值计算模型的输出为训练光谱值,以所述训练光谱值与所述标注的差异最小为优化目标,训练所述光谱值计算模型,其中,训练完成的光谱值计算模型用于根据输入的结构参数确定对应的第一理论光谱值,以及,根据所述输入的结构参数和所述第一理论光谱值构建原生数据库。
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