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龙图腾网恭喜科讯工业制造(深圳)有限公司申请的专利半导体用波纹管气动供液泵及其工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119878507B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510376036.8，技术领域涉及：F04B43/10；该发明授权半导体用波纹管气动供液泵及其工作方法是由张生洲;彭峰;张青松设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体用波纹管气动供液泵及其工作方法在说明书摘要公布了：本发明属于泵技术领域，尤其涉及半导体用波纹管气动供液泵及其工作方法。本发明提供了一种半导体用波纹管气动供液泵，包括：波纹泵腔；至少两阀壳套，其设置在泵体侧壁，且适于连通波纹泵腔与泵体；至少两单向阀，其滑动设置在阀壳套内，且适于启闭阀壳套；至少两调节密封装置，其设置在单向阀侧壁；其中，左侧的波纹泵腔向泵体方向收缩时，单向阀向阀壳套内移动，所述调节密封装置适于限位单向阀的移动行程；位于泵体右侧的相对应的单向阀同步向远离泵体的方向移动，所述调节密封装置适于提高单向阀与阀壳套的稳定性；通过调节密封装置的设置，减小压缩弹簧的形变幅度，增加了压缩弹簧的使用寿命。

本发明授权半导体用波纹管气动供液泵及其工作方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体用波纹管气动供液泵，其特征在于，包括：波纹泵腔（2），两所述波纹泵腔（2）分别设置在泵体（1）的两侧；至少两阀壳套（3），其设置在泵体（1）侧壁，且用于连通波纹泵腔（2）与泵体（1）；至少两单向阀（4），其滑动设置在阀壳套（3）内，且用于启闭阀壳套（3）；所述单向阀（4）一侧设置有一压缩弹簧（30）；至少两调节密封装置（5），其设置在单向阀（4）侧壁；其中，位于泵体（1）一侧的波纹泵腔（2）向泵体（1）方向收缩时，单向阀（4）向阀壳套（3）内移动，所述调节密封装置（5）用于限位单向阀（4）的移动行程；位于泵体（1）另一侧的相对应的单向阀（4）同步向远离泵体（1）的方向移动，所述调节密封装置（5）用于提高单向阀（4）与阀壳套（3）的稳定性；位于同一波纹泵腔（2）内的两单向阀（4）朝向相反；所述调节密封装置（5）包括：定位架（51），其设置在压缩弹簧（30）与单向阀（4）之间，且沿径向开设有若干限位槽（52）；若干限位块（53），其滑动设置在所述限位槽（52）内，且与阀壳套（3）内壁抵接；所述阀壳套（3）内壁开设有与所述限位块（53）相适配的定位槽（31），每个所述定位槽（31）内设置有一复位弹簧（32）；其中，单向阀（4）水平移动打开阀壳套（3）时，限位块（53）被定位架（51）推动向外滑动以插入定位槽（31）内，以限位压缩弹簧（30）的形变幅度。

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