恭喜朗姆研究公司理查德·M·布兰克获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利具有转动关节编码器的晶片搬运机械手获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111373522B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201880074457.3,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权具有转动关节编码器的晶片搬运机械手是由理查德·M·布兰克设计研发完成,并于2018-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有转动关节编码器的晶片搬运机械手在说明书摘要公布了:提供了晶片搬运机械手,该机械手被构造成提供高晶片放置精度。这样的机械手利用转动驱动传递机构以及位于每个旋转关节处而不是仅仅在马达输出处的转动编码器。
本发明授权具有转动关节编码器的晶片搬运机械手在权利要求书中公布了:1.一种晶片搬运系统,其包含:机械手臂,其包括:基座;第一可移动连接件,所述第一可移动连接件的第一端部经由第一转动关节能旋转地连接至所述基座;第二可移动连接件,所述第二可移动连接件的第一端部经由第二转动关节能旋转地连接至所述第一可移动连接件的第二端部;第一旋转驱动传送机构,其包括第一带轮、第二带轮以及横跨于所述第一带轮和所述第二带轮之间的一或更多个第一传动带,其中:所述第二带轮与所述第二可移动连接件固定地连接,以及所述第一旋转驱动传送机构被构造成使得:所述第一带轮相对所述第一可移动连接件的旋转造成所述第二带轮和所述第二可移动连接件相对于所述第一可移动连接件绕着所述第二转动关节的中心轴线旋转;第一马达,所述第一马达坐落于所述基座中,并具有连接至所述第一可移动连接件的转动输出且构造成驱动所述第一可移动连接件;第二马达,所述第二马达坐落在所述基座中,并具有连接至所述第一带轮的转动输出且构造成驱动所述第一带轮;第一转动编码器,其具有与所述基座固定地连接的第一部分以及与所述第一可移动连接件固定地连接的第二部分;以及第二转动编码器,其具有与所述第一可移动连接件固定地连接的第一部分以及与所述第二可移动连接件固定地连接的第二部分,其中:所述基座、所述第一可移动连接件和所述第二可移动连接件的内部空间在所述机械手臂内彼此流体连通,所述第一转动关节和所述第二转动关节都配备有真空密封件,所述第一转动关节沿其中心线是中空的,并且连接到所述转动第二编码器的配线的一部分设置在所述第一转动关节的中空中,所述一个或更多个第一传动带中的每一个是V形传动带、平坦传动带、带齿传动带或圆形传动带,以及所述一个或更多个第一传动带中的每一个由包括聚合物材料或与织物结合的聚合物材料的材料制成。
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